在微观测量领域，单一技术往往难以应对复杂多样的测量需求。Sensofar 推出的新型共聚焦白光干涉光学轮廓仪 S neox，凭借共聚焦、干涉与多焦面叠加技术的融合应用，为用户带来了更为全面的测量解决方案。
从技术原理来看，共聚焦技术通过针孔过滤掉非焦点光线，能够获取高对比度的二维图像，在此基础上进行纵向扫描，即可构建出样品表面的三维形貌。S neox 的共聚焦模块横向分辨率可达 0.10um，这意味着即便是微小的线条或缝隙，也能被清晰识别。当搭配 150 倍、0.95 数值孔径的镜头时，对于光滑表面的测量斜率能达到 70°，粗糙表面则可达到 86°，面对具有一定倾斜角度的样品表面，也能保持良好的测量效果。其的共聚焦算法让 Z 轴测量重复性稳定在纳米级别，为数据的可靠性提供了有力保障。
干涉技术是 S neox 另一重要技术支撑，分为相位差干涉和白光干涉。相位差干涉利用光的相位变化进行测量，纵向分辨率可达亚纳米级，且在不同放大倍数下均能保持这一精度。例如使用 2.5 倍镜头时，既能实现较大视场的观测，又能获得超高的纵向测量精度，非常适合对大面积光滑表面进行精细测量。白光干涉则基于白光的低相干特性，通过分析干涉条纹的变化来计算表面高度，纵向分辨率为纳米级，适用范围广泛，无论是光滑表面还是略带粗糙的表面，都能准确测量，且同样不受放大倍数影响。
多焦面叠加技术是 S neox 针对粗糙表面测量开发的特色功能。对于那些起伏较大、传统共聚焦技术难以一次性清晰成像的样品，该技术通过快速采集不同焦平面的图像并进行叠加处理，能够完整还原表面形貌。其扫描速度可达 mm/s 级别，在保证效率的同时，最大支持 86° 的测量斜率，对于工件、模具等具有复杂表面的样品测量来说，是非常实用的功能。
在硬件配置上，S neox 的光学镜头选用低色散光学玻璃，有效减少了色差对成像质量的影响，再加上多层增透膜的处理，大幅提升了光线透过率，使图像细节更加清晰。镜头镜筒采用不锈钢材质，具有良好的机械稳定性，在温度变化或轻微振动的环境中，不易发生形变，确保了光学系统的同轴度，维持了测量精度的稳定性。样品台导轨采用精密滚珠结构，并覆盖耐磨涂层，不仅移动顺滑，还能长期保持良好的运动精度，保证样品定位的准确性。
参数方面，S neox 提供了丰富的配置选择，样品台尺寸多样，最大可容纳 700×600mm² 的样品，满足不同规格样品的测量需求。设备整体尺寸约为 600mm×500mm×750mm，重量在 70kg 以内，台式一体化设计使其能轻松融入各类实验室和生产环境。
操作方面，S neox 配备的 SensoSCAN 软件界面简洁明了，即使是初次使用的用户，也能快速上手。软件具备导航预览功能，可自动大范围扫描样品，帮助用户快速定位测量区域，且在转换放大倍数时，预览图会实时显示当前观察位置，提升操作便捷性。若需要更专业的分析功能，可增配 SensoPRO LT 或 SensoMAP 软件。SensoPRO LT 支持全自动测量，适合生产线质量管控，其插件式分析模块可根据需求灵活增减，涵盖 LED 行业 PSS、Bump、粗糙度等多种分析场景，还能进行定制开发。SensoMAP 则基于 Mountains 平台，提供 2D、3D、4D 分析、粒度分析等多种功能模块，满足科研级别的深度分析需求。
无论是精密制造中的质量检测，还是材料科学中的表面分析，S neox 凭借多技术融合的优势，都能提供稳定可靠的测量数据，为各行业的研发与生产提供有力支持。
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