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双模合一SensofarS lynx2的技术特点Sensofar S lynx2的核心优势在于其将共聚焦成像和白光干涉测量技术集成于一台设备之中。这种“双引擎"设计理念，使其在面对多样化的样品时，能展现出良好的适应性，为用户提供了更宽广的测量范围。
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双模合一SensofarS lynx2的技术特点
Sensofar S lynx2的核心优势在于其将共聚焦成像和白光干涉测量技术集成于一台设备之中。这种“双引擎"设计理念，使其在面对多样化的样品时，能展现出良好的适应性，为用户提供了更宽广的测量范围。
共聚焦技术利用空间针孔来排除焦点以外的杂散光，从而能够获取样品表面不同高度的光学切片。通过垂直扫描并重建这些切片，可以得到高对比度的三维表面形貌。这一技术对光线的利用效率较高，即使对于吸光材料或暗色样品，也能获得可信的测量数据。它尤其擅长处理陡峭侧壁和粗糙表面。
白光干涉技术，又称垂直扫描干涉术，利用白光短相干性的特性，通过寻找干涉条纹的对比度最大值来精确定位表面高度。这种技术对于光滑表面的微小起伏和纳米级的台阶高度测量，能表现出良好的性能。
S lynx2的智能之处在于，其软件系统能够根据用户选择的物镜和设置的测量参数，自动推荐或切换到合适的测量模式。例如，使用低倍物镜观察一个粗糙的喷砂表面时，系统会建议采用共聚焦模式；而换用高倍物镜测量一个光滑的硅片台阶时，系统则会推荐白光干涉模式。这种自动化流程降低了对操作人员的技术要求，减少了因模式选择不当而导致的测量误差。
从用材上看，确保光学性能稳定是基础。S lynx2的光路系统采用了镀膜光学玻璃透镜，以减少像差和色差，保证成像质量。扫描系统采用闭环压电陶瓷驱动器，其重复定位性能有助于提升垂直方向的测量准确性。
这种技术上的融合，使得S lynx2成为了一台“多面手"设备。它既不像单一共聚焦设备那样在纳米尺度上可能受限，也不像单一干涉仪那样在面对粗糙表面时无能为力。对于预算有限但又需要应对多种测量挑战的用户来说，S lynx2提供了一个折中的解决方案。
双模合一SensofarS lynx2的技术特点