在精密检测设备领域，用材品质与性能稳定性直接决定检测数据的可靠性与设备的使用寿命。ZYGO 3D 光学轮廓仪 ZeGage Pro 从核心部件到外部结构，均选用适配高精度检测需求的优质材料，搭配成熟的光学与机械技术，为跨领域检测提供稳定、精准的支持，成为科研机构与企业实验室的可靠选择。
从用材细节来看，ZeGage Pro 的核心光学部件采用高纯度熔融石英玻璃。这种玻璃具备优异的透光性，在可见光与近红外波段的透光率超过 90%，能减少光线在传播过程中的损耗，确保检测时光学信号的准确传递；同时，其热膨胀系数低，在环境温度变化时不易发生形变，避免因光学元件变形影响检测精度。设备的镜头组采用多层增透膜技术，膜层材质为氧化硅与氟化镁的复合涂层，可有效降低光线反射，进一步提升光学系统的成像质量，让样品表面的微小轮廓细节清晰呈现。
机械结构方面，ZeGage Pro 的检测平台底座选用铸铁材质，铸铁具备良好的刚性与减震性能，能减少外部环境振动对检测平台的影响，确保扫描过程中平台的稳定性；平台台面为 304 不锈钢，表面经过精密研磨处理，平整度误差控制在微米级别，可稳定承载不同重量的样品，同时不锈钢材质耐磨损、抗腐蚀，长期使用后仍能保持较好的表面状态，减少台面磨损对检测结果的干扰。设备的平移台驱动部件采用精密滚珠丝杠，丝杠材质为高强度合金钢，经过热处理强化，具备较高的硬度与耐磨性，配合伺服电机驱动，能实现微米级别的移动精度，确保检测位置的准确性。
性能稳定性是 ZeGage Pro 的突出优势。设备搭载闭环反馈控制系统，在扫描过程中，实时监测平移台的位置与光学信号的强度，若出现微小偏差，系统会自动调整参数，确保检测过程的稳定性。例如在长时间连续检测（如 8 小时批量检测电子元件）时，设备的温度漂移量较小，垂直检测精度的变化幅度控制在纳米级别，保证同批次样品检测数据的一致性。此外，设备具备环境适应性，在温度 15℃-30℃、湿度 30%-70% 的常规实验室环境下，无需额外恒温恒湿设备，即可正常工作，减少对使用环境的限制。
在跨领域应用中，ZeGage Pro 的表现尤为全面。在光学元件制造领域，可用于检测透镜的面型误差与曲率半径。操作时，将透镜固定在专用光学夹具上，确保透镜光轴与检测系统轴线对齐；打开 MXP 软件，选择 “光学元件检测" 模块，设置扫描范围为透镜有效口径（如 20mm）、扫描分辨率为 0.5μm；启动扫描后，设备会自动采集透镜表面的光学数据，软件通过算法计算出面型误差 PV 值与曲率半径，生成 3D 面型图，若误差超出设定范围（如 PV 值＞500nm），软件会自动标记偏差区域，帮助操作人员调整加工工艺。
在汽车零部件检测领域，ZeGage Pro 可用于检测发动机气门的表面粗糙度与磨损程度。将气门固定在旋转式夹具上（确保检测过程中气门匀速转动）；在软件中设置 “圆柱面扫描" 模式，扫描路径覆盖气门密封面与杆部；检测完成后，软件生成气门表面的粗糙度参数（如 Ra、Rz）与磨损深度数据，若密封面出现磨损深度超过 10μm 的区域，会自动生成磨损分析报告，为气门的质量评估与更换提供依据。
ZYGO ZeGage Pro 用材与性能相关参数表：
无论是光学元件的高精度面型检测，还是汽车零部件的表面质量评估，ZYGO ZeGage Pro 都能凭借优质的用材与稳定的性能，提供准确、可靠的检测数据，帮助用户把控产品质量，推动研发与生产工作的高效开展。
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