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布鲁克三维光学轮廓仪保障长期稳定运行为延长设备使用寿命，布鲁克提供全生命周期服务方案，涵盖日常清洁、定期校准与软件更新。
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布鲁克三维光学轮廓仪保障长期稳定运行
为延长设备使用寿命，布鲁克提供全生命周期服务方案，涵盖日常清洁、定期校准与软件更新。
日常维护
光学部件清洁：每周使用专用镜头纸与无水乙醇清洁物镜与反射镜，避免划伤镀膜层。
机械结构检查：每月检查样品台轨道润滑情况，补充高温润滑脂（如Molykote 33）；验证平移台移动顺畅性，确保无卡滞或异响。
环境监控：在设备旁放置温湿度记录仪，当环境参数超出17-29℃、30-65%范围时，启动空调或除湿机调节。
定期校准
布鲁克建议每2000小时进行一次全面校准，包括：
垂直分辨率验证：使用NIST溯源的纳米级台阶标样（高度100nm），测量30次的标准偏差应＜0.1nm。
横向定位精度测试：通过激光干涉仪检测样品台XY轴移动误差，确保重复性优于0.1μm。
光强稳定性检测：连续测量标准样品8小时，验证垂直分辨率变化量≤0.4nm。
软件与硬件升级
布鲁克每年发布两次软件更新包，新增分析工具（如动态粗糙度分析）与行业标准兼容模块。用户可通过USB接口或网络下载升级文件，整个过程耗时不超过15分钟。针对硬件扩展需求，可选配自动化物镜塔台、电动离焦调整模块或高温样品台（最高150℃），进一步提升设备适应性。布鲁克三维光学轮廓仪保障长期稳定运行