Sensofar白光干涉三维轮廓仪操作指南

产品简介

Sensofar白光干涉三维轮廓仪操作指南
Sensofar S lynx轮廓仪的测量稳定性和使用寿命，与其硬件架构设计和材料选择相关联。从整体结构到核心组件，其设计均考虑了工业化环境下的使用需求。

产品型号：lynx2

更新时间：2025-10-13

厂商性质：代理商

访问量：58

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三维光学轮廓仪

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Sensofar白光干涉三维轮廓仪操作指南

建立并遵循规范的操作流程，是使用Sensofar S lynx轮廓仪获得可靠、可重复测量结果的重要环节。流程涵盖从开机准备到数据保存的全过程。

测量前准备

环境与样本检查：确保仪器放置在稳固的台面上，远离强振动源和气流。检查样本表面是否清洁、干燥，无松动颗粒。对于微小样本，需确保其被稳定地固定于样品台上。

开机与初始化：依次打开仪器主机、电脑显示器电源，最后启动仪器主机。启动配套的SensoMAP测量软件，软件通常会执行系统自检和初始化流程。

样本放置：将样本轻放于样品台中心区域，避免碰撞物镜。

对焦与测量设置

选择物镜与观察：在软件界面选择适合的物镜倍数。使用软件控制样品台移动，找到需要测量的区域。通过实时图像功能，调整Z轴高度直至图像清晰。

选择测量模式：根据样本特性选择“共聚焦"（Confocal）或“白光干涉"（VSI）模式。对于不熟悉的样本，可先用共聚焦模式进行快速预览。

设置扫描参数：设定垂直扫描的起始点和结束点，确保范围能覆盖待测特征的高度。设置合适的扫描步长，步长越小，理论上垂直分辨率越高，但扫描时间会增加。可启用“自动曝光"功能让系统优化光照条件。

执行测量与数据处理

开始测量：确认参数无误后，启动单点或区域扫描。仪器将自动完成Z轴扫描和数据采集。

数据重建与预览：扫描结束后，软件会自动处理数据，生成三维形貌图、二维等高图、轮廓线等，用户可即时预览测量效果。

大区域测量：若需测量超出单视场的区域，可使用软件提供的拼接测量功能（如Tile Scan），预设拼接行列数，仪器将自动完成多视场测量与拼接。

数据分析与报告生成

数据调平与滤波：使用软件的数据处理工具，首先应用“调平"功能去除样本倾斜带来的误差。根据需要，可选用合适的滤波器（如高斯滤波器、形态学滤波器）分离形状、波纹度和粗糙度成分。

参数提取：在感兴趣区域（ROI）内，计算表面粗糙度参数（Sa, Sq, Sz等）、台阶高度、体积、表面积、几何尺寸等。

结果保存与导出：将包含原始数据和分析结果的项目文件保存为特定格式。可将三维图像、二维曲线和数据表格导出为通用格式（如.png, .csv），用于编制报告

总结

通过标准化的操作步骤，用户可以系统性地完成测量任务，有助于减少操作误差，保证测量结果的一致性和可追溯性。

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