布鲁克白光干涉仪轮廓仪使用与维护指南
ContourX-100 是布鲁克推出的台式三维光学轮廓仪，型号为 ContourX-100，属于非接触式轮廓仪 / 粗糙度仪范畴，产地为马来西亚。其核心依托白光干涉（WLI）技术，这一技术积累源于布鲁克四十余年的光学创新经验，可在单次采集过程中结合 3D WLI 与 2D 成像技术完成多项分析。该设备主打小尺寸设计，体积小于 330mm×330mm×550mm，重量不足 18kg，既能适配实验室场景，也能满足工厂车间的紧凑布局需求。
二、关键性能与适用场景
在测量性能上，ContourX-100 的 Z 轴分辨率不受放大倍率影响，能保持稳定的测量表现。其配备的 500 万像素摄像头（2592×1944 分辨率）支持 1X、2X、4X 光学变焦，配合更新后的载物台，可实现更大范围的图形拼接功能。针对不同反射率表面，设备能适配 0.05% 至 100% 的反射率范围，无论是精密加工件的粗糙表面，还是薄膜的光滑表面，均能完成测量。
在应用场景中，该设备可覆盖精密工程、MEMS 与传感器、骨科 / 眼科等多个领域。以精密工程为例，它能监测零部件的表面纹理与几何尺寸，辅助评估 GD&T 合规性；在 MEMS 领域，可完成刻蚀深度、膜厚、台阶高度等参数的重复性测量。
三、核心组件与技术细节
设备的纵向扫描由闭环反馈压电陶瓷驱动，纵向运动范围达 100mm，压电陶瓷驱动的扫描范围为 500μm，两者测量精度均可达 0.1nm，垂向扫描速度为 12μm/sec。载物台尺寸为 100mm×100mm，支持手动和自动聚焦，具备四向倾斜水平调整功能，偏角调整范围为 ±5°。
软件系统搭载 VisionXpress™与 Vision64® 双界面，内置上千项自定义分析功能和丰富的预编程滤镜，可满足 ISO 25178、ASME B46.1、ISO 4287 等多项标准的分析需求，能生成定制化报告。此外，设备还标配 SHS-CrOnSi-10um 台阶高度标准厚度片，用于校准与精度验证。
四、使用价值与适配优势
ContourX-100 的设计兼顾了测量能力与操作便捷性，其自动功能包括自动拼接、散射和网格自动化，以及自动对焦、强度调节、数据保存等，能提升测量效率。对于需要移动办公或多场景数据处理的用户，设备配套的 Online 在线分析平台支持上传 fibps 格式文件，移动端 APP 可实现数据的存储、查看与离线分析，进一步拓展了使用灵活性。这种硬件与软件的组合，使其在台式设备中具备较高的性价比，适合对测量精度和效率有双重需求的用户。布鲁克白光干涉仪轮廓仪使用与维护指南
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