布鲁克白光干涉仪轮廓仪基础参数与设备规格
ContourX-100三维光学轮廓仪作为布鲁克的代表性台式设备，型号明确为ContourX-100，工作原理基于白光干涉技术，属于非接触式测量设备。其核心物理参数展现了紧凑化设计思路：设备体积控制在330mm×330mm×550mm以内，重量低于18kg，这种尺寸优势使其可直接放置于实验室工作台或工厂生产线旁，无需额外占用大面积空间。
设备的光源采用特殊设计的长寿命白光 LED，具备均匀成像与高效率特点，能为干涉测量提供稳定的光信号支持，减少因光源衰减导致的测量偏差。摄像头作为图像采集核心，采用 500 万像素彩色 CCD，分辨率为 2592×1944，配合 1X、2X、4X 光学变焦模块，可根据测量需求调整视野范围，变焦后有效像素为 648×484。
纵向扫描系统由闭环反馈压电陶瓷驱动，形成双重测量范围：基础纵向运动范围达 100mm，压电陶瓷驱动的精细扫描范围为 500μm，两种模式下测量精度均可达 0.1nm。这种设计既满足了大尺寸台阶的测量需求，也能应对薄膜厚度等微小尺寸参数的检测。垂向扫描速度为 12μm/sec，在保证精度的同时提升了测量效率。
设备支持 WLI 和 PSI 两种测量模式的一键切换。WLI 模式适用于 50nm 至 10mm 的厚度测量，RMS 重复性为 1.0nm；PSI 模式则针对 0 至 3μm 的薄型样品，RMS 重复性达 0.1nm。在台阶高度测量方面，准确性为 0.7%，精确度 0.1%，稳定性 0.15%，且支持以直方图形式呈现测量结果，便于数据统计分析。
手动载物台尺寸为 100mm×100mm，具备四向倾斜水平调整功能，偏角调整范围为 ±5°，可通过手动操作实现样品的精准定位。图形拼接（Stitching）功能可通过多次扫描将小区域形貌合成大区域 3D 形貌图，配合更新后的载物台设计，进一步扩大了有效测量面积。
ContourX-100 的参数设计与实际应用需求高度匹配。例如，0.05% 至 100% 的反射率适配范围，使其可用于精密加工表面（低反射率）、光学元件（高反射率）等多种样品类型。在 MEMS 行业中，1.0nm 的 WLI 重复性可满足刻蚀深度的批次检测需求；而骨科植入物的表面粗糙度测量则可通过 ISO 25178 标准分析功能完成数据处理。
对于工厂车间场景，设备的高稳定性参数（如台阶高度稳定性 0.15%）能应对生产环境中的轻微振动；实验室场景下，PSI 模式的高重复性则可支持材料研发中的精细参数对比。此外，设备支持的 Color Imaging 功能可通过软件 license 升级，无需额外硬件即可实现样品真实色彩输出，满足科研报告中的图像呈现需求。
为保证参数准确性，设备标配 1.25 英寸 10 微米台阶高度标准厚度片（SHS-CrOnSi-10um），用户可定期进行校准操作。布鲁克还提供安装调试现场免费培训，以及额外的免费或付费培训服务，帮助用户正确理解参数含义与操作规范，确保测量数据的可靠性。这些配套服务进一步提升了参数的实际应用价值，使设备能更好地融入不同用户的工作流程。布鲁克白光干涉仪轮廓仪基础参数与设备规格
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