布鲁克白光干涉仪轮廓仪应用场景

在精密工程中,零部件的表面纹理与几何尺寸控制直接影响产品性能。ContourX-100 可通过 2D/3D 高分辨率测量功能,监测精密加工件的表面粗糙度、台阶高度等参数,确保其符合设计规范的严格限制。设备支持的 GD&T 合规性评估功能,能为生产过程提供有效反馈:通过 Vision64® 软件生成的定制化报告,可直观呈现尺寸偏差数据,帮助技术人员追踪工艺问题。
例如,在汽车发动机零部件生产中,可利用设备的自动拼接功能扫描气门密封面,获取全区域 3D 形貌图,分析表面凹陷或凸起分布;其 100mm 的纵向运动范围,也能满足轴类零件的全长台阶测量需求。
MEMS 器件的微型化特性对测量精度提出高要求,ContourX-100 的 PSI 模式可实现 0.1nm 的 RMS 重复性,适用于 0 至 3μm 的薄膜厚度、刻蚀深度测量。在器件全生命周期中,从晶圆加工阶段的膜层监控,到封装后的关键尺寸检测,设备均可提供连续测量支持。
对于光学 MEMS 器件,其透明封装层不会影响测量结果 —— 设备的白光干涉技术可穿透透明材料,获取内部结构形貌。此外,设备的高通量特性适配批量生产需求,上千项自定义分析功能可快速输出不同批次器件的参数对比报告,助力质量管控。
医疗植入物的表面特性与生物相容性密切相关,ContourX-100 可对骨科植入材料(如钛合金人工guan节)进行表面粗糙度、纹理间距等参数测量,确保其符合植入标准。在眼科领域,设备能对人工晶状ti的光学表面进行 3D 轮廓扫描,分析表面曲率的均匀性,其 Color Imaging 功能可还原样品真实色彩,便于科研人员记录与发表结果。
以人工er蜗外壳检测为例,设备可测量外壳的曲面粗糙度与壁厚均匀性:通过 WLI 模式完成 50nm 至 10mm 的厚度测量,配合 Total Focus 全聚焦功能,消除曲面成像的模糊问题,保证数据完整性。
ContourX-100 的应用灵活性还体现在行业适配的扩展上。在电子 / 电气领域,可用于 RDL *封装工艺的厚度测试;在交通领域,能检测轨道交通零部件的磨损表面形貌。设备的手动载物台支持四向倾斜调整,可适配不规则形状样品;移动端 APP 则允许检测人员在车间现场查看数据,无需返回实验室处理,进一步提升了场景适配性。
布鲁克提供的培训服务也为跨领域应用提供支持:安装调试时的现场培训可帮助用户快速掌握行业专属的测量流程,如 MEMS 器件的台阶高度校准、骨科植入物的粗糙度标准应用等,确保设备在不同场景中充分发挥作用。布鲁克白光干涉仪轮廓仪应用场景