布鲁克白光干涉仪轮廓仪设备开机与前期准备

布鲁克白光干涉仪轮廓仪设备开机与前期准备

ContourX-100三维光学轮廓仪的操作流程需遵循标准化步骤，以保证测量数据的可靠性。设备型号为ContourX-100，开机前需确认环境条件：建议放置在水平工作台面，避免强光直射与剧烈振动，因设备虽具备集成防震设计，但极环境仍可能影响测量稳定性。

ContourX-100三维光学轮廓仪的操作流程需遵循标准化步骤，以保证测量数据的可靠性。设备型号为ContourX-100，开机前需确认环境条件：建议放置在水平工作台面，避免强光直射与剧烈振动，因设备虽具备集成防震设计，但极环境仍可能影响测量稳定性。

（一）硬件启动步骤

1. 连接设备电源与电脑主机，打开电源开关，设备进入自检模式，此时指示灯呈绿色闪烁，自检完成后常亮。

2. 启动白光 LED 光源，等待 3 分钟预热，确保光源输出稳定 —— 光源采用长寿命设计，但频繁开关会缩短使用寿命，建议持续待机状态。

3. 检查载物台状态：手动推动载物台确认移动顺畅，通过水平调整旋钮将台面调至水平，偏角调整范围为 ±5°，可借助水平仪辅助校准。

（二）样品准备与装载

1. 根据样品尺寸选择合适的固定方式：小型样品可直接放置于载物台中心，大型样品需确认尺寸不超过 100mm×100mm 的载物台范围。

2. 清洁样品表面：用无尘布蘸取无水乙醇擦拭，去除油污与灰尘，避免影响反射率检测 —— 设备虽能适配 0.05% 至 100% 反射率，但表面杂质可能导致局部测量偏差。

3. 轻放样品于载物台，通过手动调节旋钮将样品移动至测量视野下方，初步对准镜头。

二、测量模式设置与参数调节

（一）软件启动与模式选择

• 厚膜、精密加工表面优先选择 WLI 模式，测量范围 50nm 至 10mm；

• 超薄膜（0 至 3μm）选择 PSI 模式，可获得更高重复性；

• 需同时分析表面形貌与色彩时，可勾选 “Color Imaging" 选项（需软件 license 支持）。

（二）光学参数配置

1. 镜头选择：设备配备 4 物镜炮塔，支持自动位置感测与切换，根据测量精度需求选择物镜倍率，倍率变化不影响 Z 轴分辨率。

2. 摄像头参数：500 万像素摄像头默认输出 2592×1944 分辨率图像，可通过光学变焦调整视野，1X 变焦适用于大区域扫描，4X 变焦用于局部细节检测。

3. 扫描参数设置：在软件中输入纵向扫描范围，压电陶瓷驱动最大支持 500μm，需更大范围时可切换至 100mm 纵向运动模式；扫描速度设为 12μm/sec，平衡效率与精度。

三、样品测量与数据处理流程

（一）自动测量操作

1. 点击软件 “自动对焦" 按钮，设备通过摄像头识别样品表面，完成焦点定位；若对焦不准确，可手动调节载物台高度辅助对准。

2. 开启 “自动拼接" 功能（需大面积测量时），设置扫描区域与拼接次数，设备将自动完成多区域扫描并合成完整 3D 形貌图。

3. 启动测量后，系统自动保存原始数据，同时进行实时分析，可在界面实时查看 2D 轮廓曲线与 3D 伪彩图。

（二）数据筛选与报告生成

1. 分析工具选择：从软件预编程滤镜库中调用适配标准，如 ISO 25178 用于表面粗糙度分析，ASME B46.1 用于轮廓参数计算。

2. 数据处理：剔除异常点后，软件可生成台阶高度直方图、粗糙度参数表等结果，支持上千项自定义分析项的组合输出。

3. 报告导出：选择 “定制化报告" 模板，可包含测量参数、原始图像、分析结果等内容，格式支持 PDF、Excel 等，同时可通过 Online 平台上传至云端，或用移动端 APP 查看。

四、关机与日常维护要点

1. 测量完成后，先关闭白光 LED 光源，等待 5 分钟冷却后再关闭设备电源。

2. 清洁保养：用镜头纸擦拭物镜与摄像头镜片，载物台表面用无尘布清洁，避免残留样品碎屑影响下次测量。

3. 定期校准：每月使用标配的 10μm 台阶高度标准片进行校准，确保 Z 轴测量精度；每季度联系售后进行全面维护，布鲁克提供安装调试后的免费培训，可咨询校准细节。