ZYGO 3D光学轮廓仪结构用材与部件特性

产品简介

ZYGO 3D光学轮廓仪结构用材与部件特性
正确的操作和定期的维护是保证ZeGage Pro长期稳定运行和测量数据可靠性的重要环节。

产品型号：ZeGage Pro

更新时间：2025-10-14

厂商性质：代理商

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激光干涉仪

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ZYGO 3D光学轮廓仪结构用材与部件特性

一、整体结构与机身用材

ZeGage Pro 机身采用高强度铝合金框架，厚度 5mm，经时效处理后抗拉强度达 300MPa，支撑内部精密部件稳定安装，同时控制整机重量约 35kg，便于实验室移动。外壳为 ABS+PC 合金塑料，表面哑光处理，抗冲击且减少环境光反射干扰，防护等级 IP42，可阻挡灰尘与轻微溅液。

机身底部配备 4 个橡胶脚垫（直径 30mm），摩擦系数 0.8，避免设备移位；顶部操作面板为钢化玻璃（厚度 3mm，透光率 92%），耐磨防刮，支持触控操作，日常清洁用无尘布蘸清水擦拭即可。

二、核心部件用材与性能

（一）光学系统用材

物镜组：镜片采用高折射率低色散玻璃（LaK 系列），多层镀膜（每层厚 100-200nm），透光率达 98% 以上，减少色差与杂光。物镜外壳为不锈钢（SUS304），同轴度误≤0.01mm，确保光路精准，适配 5X-50X 不同倍率需求。

干涉仪模块：核心棱镜为石英材质（耐温 - 50℃-200℃，折射率稳定），分光膜采用 dielectric 涂层，分光比误≤2%，保证干涉信号稳定，支撑 0.05nm 垂直分辨率测量。

光源组件：LED 灯珠为高亮度贴片式（单颗功率 1W，寿命 50000 小时），散热外壳为铝合金，带鳍片结构（间距 2mm），连续工作 4 小时温度升幅≤15℃，避免亮度衰减。

（二）样品台用材

手动样品台台面为航空级铝合金（表面平整度≤0.005mm），有效承载面积 200mm×150mm，可放重量≤5kg 样品。移动导轨为不锈钢（GCr15），淬火后硬度 HRC60，配合 POM 螺母，传动精度 0.001mm，手动调节顺滑无卡顿。

自动样品台（选配）驱动电机为步进电机（步距角 1.8°），外壳为钕铁硼永磁材料，体积小且扭矩足，X/Y 轴行程 100mm×80mm，定位精度 0.0005mm，适配批量样品自动检测。

ZYGO 3D光学轮廓仪结构用材与部件特性

三、部件维护要点

光学部件：物镜每次使用后用专用镜头纸蘸镜头清洁剂擦拭，禁止用普通纸巾；干涉仪棱镜每季度用压缩气吹清灰，避免擦拭损伤镀膜。

样品台：导轨每月涂专用润滑脂（锂基型），手动调节旋钮定期检查松紧，过松需紧固螺丝。

机身：外壳避免接触有机溶剂（如酒精），防止涂层脱落；脚垫磨损后及时更换（原厂型号 ZGP-F01），保证设备水平。

通过科学用材，ZeGage Pro 在保证测量精度的同时，延长部件寿命，适配长期稳定使用需求。

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