ZYGO 3D光学轮廓仪操作流程与场景适配

产品简介

ZYGO 3D光学轮廓仪操作流程与场景适配
ZeGage Pro 机身采用高强度铝合金框架，厚度 5mm，经时效处理后抗拉强度达 300MPa，支撑内部精密部件稳定安装，同时控制整机重量约 35kg，便于实验室移动。

产品型号：ZeGage Pro

更新时间：2025-10-14

厂商性质：代理商

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ZYGO 3D光学轮廓仪操作流程与场景适配

一、整体结构与机身用材

ZeGage Pro 机身采用高强度铝合金框架，厚度 5mm，经时效处理后抗拉强度达 300MPa，支撑内部精密部件稳定安装，同时控制整机重量约 35kg，便于实验室移动。外壳为 ABS+PC 合金塑料，表面哑光处理，抗冲击且减少环境光反射干扰，防护等级 IP42，可阻挡灰尘与轻微溅液。

机身底部配备 4 个橡胶脚垫（直径 30mm），摩擦系数 0.8，避免设备移位；顶部操作面板为钢化玻璃（厚度 3mm，透光率 92%），耐磨防刮，支持触控操作，日常清洁用无尘布蘸清水擦拭即可。

二、核心部件用材与性能

（一）光学系统用材

物镜组：镜片采用高折射率低色散玻璃（LaK 系列），多层镀膜（每层厚 100-200nm），透光率达 98% 以上，减少色差与杂光。物镜外壳为不锈钢（SUS304），同轴度误≤0.01mm，确保光路精准，适配 5X-50X 不同倍率需求。

干涉仪模块：核心棱镜为石英材质（耐温 - 50℃-200℃，折射率稳定），分光膜采用 dielectric 涂层，分光比误≤2%，保证干涉信号稳定，支撑 0.05nm 垂直分辨率测量。

光源组件：LED 灯珠为高亮度贴片式（单颗功率 1W，寿命 50000 小时），散热外壳为铝合金，带鳍片结构（间距 2mm），连续工作 4 小时温度升幅≤15℃，避免亮度衰减。

（二）样品台用材

手动样品台台面为航空级铝合金（表面平整度≤0.005mm），有效承载面积 200mm×150mm，可放重量≤5kg 样品。移动导轨为不锈钢（GCr15），淬火后硬度 HRC60，配合 POM 螺母，传动精度 0.001mm，手动调节顺滑无卡顿。

自动样品台（选配）驱动电机为步进电机（步距角 1.8°），外壳为钕铁硼永磁材料，体积小且扭矩足，X/Y 轴行程 100mm×80mm，定位精度 0.0005mm，适配批量样品自动检测。

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上一个：ZeGage ProZYGO 3D光学轮廓仪结构用材与部件特性

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