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ZYGO 3D光学轮廓仪操作软件功能解析过 MetroPro 软件的功能适配，ZeGage Pro 实现了 “测量 - 分析 - 报告" 全流程闭环，简化数据处理步骤，适配不同场景的检测需求。
ZYGO 3D光学轮廓仪操作软件功能解析
硬件参数匹配：在 “测量设置" 中选择当前物镜（5X/10X/20X/50X），软件自动加载对应分辨率参数（如 50X 物镜默认水平分辨率 0.64μm）；若样品为透明材质，勾选 “增强对比度"，软件自动调整光源亮度与成像算法，减少反光干扰。
扫描参数调整：设置扫描范围（最小 10μm×10μm，最大 100mm×100mm），数据点密度可选 300-1000 点 /mm²（高精度需求选高密度，快速检测选低密度）；勾选 “连续扫描"，可预设 3-5 个测量区域，设备自动依次完成扫描。
基础参数计算：扫描完成后，点击 “分析"→“表面参数"，软件自动计算 Ra（算术平均粗糙度）、Rz（十点平均粗糙度）、PV（峰谷值）等参数，结果保留 3 位小数（如 Ra=0.025μm），可直接复制至表格。
专项分析模块：
台阶高度测量：用鼠标框选台阶区域，软件自动识别台阶上下表面，计算高度差（误≤0.01μm）；
缺陷识别：开启 “缺陷分析"，设置缺陷阈值（如划痕深度≥0.1μm），软件自动标红缺陷区域，统计数量与尺寸；
曲率计算：光学镜片检测时，选择 “曲率分析"，软件拟合曲面，输出曲率半径与球面度数据（误≤0.1%）。
报告模板选择：点击 “报告"→“新建报告"，提供两种模板：“基础模板"（含样品信息、测量参数、关键数据）、“详细模板"（增加 3D 形貌图、偏差分析），支持插入公司 LOGO（图片格式为 JPG/PNG）。
数据导出格式：测量数据可导出为 CSV（参数表格）、STL（3D 模型，用于后续建模）、TIFF（2D 灰度图）；报告可导出为 PDF（避免格式错乱）或 Word（便于后续编辑），导出时可选择是否包含原始数据附件。
兼容性：支持导入其他轮廓仪的 CSV 数据，进行二次分析；可对接 CAD 软件（如 AutoCAD），直接导入设计模型，对比测量数据与设计值的偏差。
数据安全：开启 “自动备份"（默认每 10 分钟备份一次），若电脑断电，重启后可通过 “数据恢复" 找回未保存文件；支持用户权限管理（管理员 / 操作员），限制参数修改权限，避免误操作。
软件校准：更换物镜后，需在 “校准"→“物镜校准" 中，用标准样板（如已知台阶高度的样板）验证，确保数据准确；
版本更新：从 ZYGO 下载最新软件版本，更新前需备份测量数据与自定义模板，避免丢失；
异常处理：若软件卡顿，关闭无关程序释放内存；若成像模糊，检查物镜清洁度或重启软件重新连接设备。
ZYGO 3D光学轮廓仪操作软件功能解析