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产品简介
Sensofar光学轮廓仪非接触式微观观测新工具 Sensofar三维光学轮廓仪技术规格全面解析Sensofar S neox 将共聚焦显微、白光干涉和多焦面叠加三大技术融合在同一平台，实现从超光滑到粗糙表面的全场景测量。
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Sensofar三维光学轮廓仪技术规格全面解析
型号对比显示，基础版纵向分辨率0.1nm，横向分辨率0.1μm，最大Z扫描范围10mm；进阶版支持五轴旋转台与AI路径规划，适用于光学镜片面型误差分析；定制版可拓展至15kg承载重量与特殊环境控制。各型号均支持环境温度18-28℃、湿度30-65%工作，无需恒温恒湿设备。平移台移动精度0.1μm，闭环控制系统确保长时间连续工作下垂直精度变化≤0.3nm。
仪器机身采用航空级铝合金框架，内部光路使用低膨胀玻璃陶瓷基座，保证温度波动 < 0.1 °C 时测量误差不变。光源为宽谱白光 LED + 可选绿光 LED，配合偏振分离模块实现透明薄膜双面测量。FLCOS 微显示阵列采用铁电液晶技术，寿命 > 20 000 h，功耗低于 30 W。
关键技术与性能指标
| 项目 | 参数 | 说明 |
|---|---|---|
| 横向分辨率 | 0.10 µm（共聚焦） | 采用 150×、NA 0.95 物镜 |
| 纵向分辨率 | 0.1 nm（白光干涉） | 多步相位移算法 |
| 最大测量斜率 | 86° | 多焦面叠加技术 |
| Z 轴行程 | ≥10 mm（闭环） | 全量程无缝拼接 |
| 扫描速度 | ≤3 mm / s | 高速数据采集 |
| 重复性 | ≤0.01 nm（RMS） | 通过内部校准实现 |
Sensofar三维光学轮廓仪技术规格全面解析