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PRODUCTS CNTERSensofar三维光学轮廓仪突破实验室应用限制S neox具备优异的环境适应性,可在多种复杂环境下稳定工作。设备采用工程塑料与金属支撑结构,兼顾轻量化与抗冲击性能,抗振动性能优异。
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Sensofar三维光学轮廓仪突破实验室应用限制
S neox具备优异的环境适应性,可在多种复杂环境下稳定工作。设备采用工程塑料与金属支撑结构,兼顾轻量化与抗冲击性能,抗振动性能优异。环境控制舱可调节温度波动±0.3℃、湿度±1%,适配光学晶体等敏感样品检测。在振动幅度超100nm环境下,设备仍能稳定工作,确保检测精度。软件支持环境补偿功能,可自动校准温度、湿度对测量结果的影响。设备还配备远程升级与故障诊断功能,通过VPN连接实现即时技术支持,满足跨地域使用需求。在生产车间环境中,S neox可适应温度波动与振动干扰,确保长时间连续工作下的检测精度与稳定性。
型号与配置
S neox 3:经济型,配备 20× 共聚焦物镜,适用于常规表面粗糙度检测。
S neox 5:多功能型,标配 150× 高 NA 物镜,支持高分辨率微结构分析。
S neox Pro:全套配置,含 500 W 高功率 LED、双通道信号融合模块,满足工业 4.0 生产线集成。
典型应用场景
半导体晶圆:薄膜厚度、刻蚀坑形貌、光刻对准误差检测。
光学元件:透镜表面粗糙度、镀膜均匀性、AR 薄膜厚度。
MEMS 器件:微:微齿轮、悬臂梁的三维形貌与尺寸公差。
生物医学材料:植入物表面纹理、组织支架孔径分布。
汽车零部件:发动机缸盖、气门座的表面质量评估。
Sensofar三维光学轮廓仪突破实验室应用限制