Sensofar共聚焦白光干涉轮廓仪适用薄膜检测

产品简介

Sensofar共聚焦白光干涉轮廓仪适用薄膜检测专属配置 S neox搭载光谱反射法（SR）模块，专为薄膜检测设计，无需样品预处理即可实现非破坏性测量。

产品型号：S neox

更新时间：2026-01-23

厂商性质：代理商

访问量：157

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Sensofar共聚焦白光干涉轮廓仪适用薄膜检测

Sensofar共聚焦白光干涉轮廓仪适用薄膜检测

S neox搭载光谱反射法（SR）模块，专为薄膜检测设计，无需样品预处理即可实现非破坏性测量。设备配备薄膜专用物镜，能聚焦光线至薄膜表面，配合高灵敏度探测器捕捉干涉光谱。软件内置薄膜分析算法，可自动优化层厚度与折射率参数，直至找到最佳拟合结果。检测平台采用微调结构，能精准对准薄膜样品的检测区域。

二、性能优势：快速精准的厚度测量

该模块能测量 10nm 至 20μm 的透明薄膜，厚度分辨率达 0.1nm，横向分辨率可达 5μm。单次检测耗时不到 1 秒，适合批量薄膜样品的快速筛查。支持 1 至 10 层的多层薄膜测量，能清晰区分各层厚度，满足复合薄膜检测需求。测量数据重复性良好，多次检测同一位置的偏差可忽略不计。

三、用材与检测保障

光学镜头针对薄膜检测的光谱范围优化了镀膜工艺，在可见光至近红外波段保持高透光率。探测器选用高灵敏度型号，能捕捉微弱的薄膜干涉信号，减少测量误差。设备内部采用温度补偿设计，避免环境温度变化影响光谱分析精度，保障检测稳定性。

四、操作流程与应用领域

以透明薄膜厚度检测为例：1. 将薄膜样品平铺在检测平台上，确保表面无褶皱；2. 打开软件，选择 “薄膜检测" 模块，设置单层 / 多层模式；3. 点击 “扫描"，设备快速采集干涉光谱并进行分析；4. 1 秒内生成厚度数据，可导出 Excel 格式存档。该设备广泛应用于半导体薄膜、光学薄膜、医用薄膜等领域，可检测薄膜厚度均匀性、折射率等关键参数。

五、核心参数简表

项目	规格
检测技术	光谱反射法（SR）
薄膜厚度范围	10nm-20μm
厚度分辨率	0.1nm
横向分辨率	可达 5μm
检测速度	＜1 秒 / 次
支持层数	1-10 层