ZYGO在超精密加工表面评估中的价值

产品简介

ZYGO在超精密加工表面评估中的价值
超精密加工技术追求亚微米级的形状精度和纳米级的表面光洁度，其产品广泛应用于光学、半导体、航空航天等尖duan领域。

产品型号：ZeGage Pro

更新时间：2025-12-17

厂商性质：代理商

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激光干涉仪

ZYGO光学轮廓仪 Zygo激光干涉仪

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ZYGO在超精密加工表面评估中的价值

超精密加工技术追求亚微米级的形状精度和纳米级的表面光洁度，其产品广泛应用于光学、半导体、航空航天等尖duan领域。对这些加工表面的评估，需要测量仪器具备极gao的垂直分辨率、优异的重复性和对微观特征的灵敏响应。ZYGO ZeGage Pro光学轮廓仪以其亚纳米级的垂直分辨率和非接触测量特性，成为评估超精密加工表面质量、诊断工艺缺陷、优化加工参数的关键计量工具。

超精密车削、铣削、磨削和抛光等工艺产生的表面，其形貌特征通常在纳米到亚微米尺度。这些特征不仅包括表面粗糙度，还包括波纹度、面形误差以及由刀具轨迹、振动、材料特性等引起的周期性或非周期性结构。ZeGage Pro能够全面捕捉并量化这些信息。

在表面粗糙度与纹理分析方面，它是评价加工光洁度的quan威工具。可以精确测量经过金刚石车削的光学表面、超精密抛光后的硅片或蓝宝石衬底的表面粗糙度（Ra, Rq 值可达0.1 nm以下）。更重要的是，它能通过功率谱密度（PSD）分析或波形分析，将表面轮廓分解为不同空间频率的成分，从而：

识别加工纹理的来源：区分出由主轴回转误差引起的周期性波纹、由进给运动导致的刀痕、或由振动产生的中频误差。
量化各频段误差：这对于光学元件尤为重要，因为不同空间频率的误差会对不同波长的光产生不同的散射效应。

在面形与轮廓精度测量方面，ZeGage Pro可以评估超精密加工后的几何形状。例如：

测量非球面、自由曲面的面形误差，与设计模型进行比对，生成误差云图。
评估直线度、平面度、圆度等几何公差。
测量微结构阵列（如微透镜阵列、衍射光栅）的单元形状、周期一致性和高度均匀性。

在工艺诊断与优化中，其数据直接指导生产：

刀具状态监控：通过测量加工表面形貌的变化，可以间接判断金刚石刀具的磨损、崩刃情况，实现预测性换刀。
工艺参数优化：对比不同主轴转速、进给量、切削深度、抛光压力下的表面形貌数据，找出获得表面质量的工艺窗口。
振动源排查：表面形貌中出现的特定频率的周期性波纹，是追踪和消除机床或环境振动源的直接证据。

ZYGO ZeGage Pro在超精密领域的优势在于其无损、高分辨率和高效率。它不会像接触式探针那样可能划伤柔软或超光滑表面。其快速的测量能力允许对工件进行多点或全域检测，而不像原子力显微镜（AFM）那样局限于极小区域。通过提供客观、量化的三维数据，它使得超精密加工从依赖老师傅的“手感"和“经验"，升级为基于数据的精密科学，确保了gao端制造领域对ji致表面质量的可控、可预测和可追溯性要求。

ZYGO在超精密加工表面评估中的价值

上一个：ZeGage ProZYGO 应对低对比度与低反射率表面