全自动台阶仪 JS2000B 操作流程简介

全自动台阶仪 JS2000B 操作流程简介

1. 环境检查：确保设备放置在稳固、无强振动的工作台上。避免温度剧烈波动和气流直吹，理想的环境温度应相对恒定。

   
   

2. 设备开机与初始化：按照制造商手册顺序开启主机、控制器和计算机电源。启动测量软件，系统通常会进行自检和初始化，等待设备就绪。

   
   

3. 样品准备：

   
   

• 清洁：使用适当的清洁方法（如吹气球、无尘布、专用清洁剂）去除样品表面的灰尘、颗粒、指纹等污染物。污染物会影响测量准确性，甚至可能损坏探针。

  
  

• 固定：将样品平稳放置在样品台上。对于小样品或不平整样品，使用真空吸盘、专用夹具或黏土（需注意兼容性）将其牢固固定，确保测量过程中无移动。同时尽量使待测区域保持水平，以减少后续数据倾斜校正的幅度。

  
  

• 标识：如果测量多个点位，可事先在软件中标记或记录点位位置。

  
  

1. 探针选择与检查（如适用）：根据测量需求（如分辨率、样品硬度）确认已安装合适的探针（通常是金刚石探针）。在显微镜下或通过软件图像检查探针针尖是否完好、无污染或损坏。损坏的探针需更换。

   
   

2. 设置测量参数：这是关键步骤，需在软件中完成：

   
   

• 测量力：设置探针接触样品时的力。较小的力（如毫克级）适合测量软材料（如光刻胶），减少划伤；较大的力可用于较硬材料。需在保护样品和保证良好接触间取得平衡。

  
  

• 扫描速度：设置探针水平移动的速度。较慢的速度通常能获得更高的分辨率和更平滑的曲线，但测量时间更长；较快的速度适用于快速筛查或长距离扫描。

  
  

• 扫描长度：设定水平扫描的起点和终点，确保覆盖感兴趣的整个特征（如整个台阶）。

  
  

• 采样密度：设置数据采集的频率。较高的采样密度能捕捉更细致的轮廓变化，但数据量更大。

  
  

• 其他参数：如自动对焦范围、接触检测灵敏度等，通常可使用默认设置或根据经验调整。

  
  

1. 样品观察与点位定位：

   
   

• 通过软件控制移动样品台，并利用设备集成的光学显微镜（如果有）或相机预览图像，将待测特征移动到视场中心。

  
  

• 如果测量多个点位，可在软件中通过“教导"模式，依次移动到每个点位并保存其坐标，创建自动测量序列。

  
  

2. 执行自动测量：

   
   

• 确认参数和点位无误后，启动自动测量程序。

  
  

• 设备将自动执行以下流程：首先jin 行自动对焦（如果配备），使样品表面清晰成像；接着可能进行自动找平，补偿微小倾斜；然后探针自动缓慢下降，进行接触检测；接触成功后，开始按设定的速度和长度进行水平扫描；扫描完成后，探针自动抬起并返回安全位置；如果设定了多点序列，样品台将自动移动到下一个点位重复此过程。

  
  

3. 监控测量过程：在测量过程中，注意观察软件界面上的力反馈信号或轮廓实时显示，确保扫描平稳，无异常抖动或失步。

   
   

1. 数据查看：扫描完成后，软件会显示原始的轮廓曲线。

   
   

2. 数据处理：

   
   

• 倾斜校正：如果样品放置有倾斜，轮廓基线可能不水平。使用软件的“调平"或“倾斜校正"功能，选择轮廓上两个已知应处于同一水平线的点进行校正。

  
  

• 滤波：根据需要，应用数字滤波器（如高斯滤波器）来平滑高频噪声或分离不同频率的成分（如粗糙度和波纹度）。

  
  

3. 参数分析：

   
   

• 台阶高度/膜厚测量：这是zui 常见的分析。在轮廓曲线上，用鼠标标示出台阶的起点和终点（通常是薄膜边缘或结构边界），软件会自动计算两点之间的垂直高度差。

  
  

• 粗糙度分析：在轮廓曲线上选择一段评估区域，软件可根据ISO 4287等标准计算线粗糙度参数，如算术平均偏差Ra、最da 高度Rz等。

  
  

• 其他几何测量：可测量水平距离、角度、曲率半径等。

  
  

4. 统计与报告：对于多点自动测量，软件可自动计算每个点测量结果的统计值（如平均值、标准差、范围）。用户可以生成包含轮廓图、数据表格和统计结果的综合报告，并导出为PDF、Excel等格式。

   
   

1. 数据保存：保存原始数据和处理后的项目文件。

   
   

2. 设备归位：测量结束后，将样品台移动至安全位置，确保探针处于抬起状态。按照操作规程关闭软件和硬件。

   
   

3. 清洁与检查：取下样品，清洁样品台。定期检查探针状态。

   
   

遵循上述流程，用户可以系统性地完成从样品准备到结果报告的测量任务。熟练操作后，可以进一步利用软件的批处理、模板化分析等功能，提高重复性测量的效率。安全、规范的操作是延长设备寿命和保证数据质量的前提。

全自动台阶仪 JS2000B 操作流程简介