全自动台阶仪 JS2000B 日常维护指南

1. 工作环境管理：

   
   

• 防振：设备应放置在稳固、无强振动的工作台上。避免靠近冲压机、离心机、频繁开关的门等振动源。如果环境振动不可避免，应考虑使用气浮隔振台。

  
  

• 洁净：保持设备周围环境清洁，减少灰尘。灰尘落入机械导轨或光学部件会影响运动精度和观察。

  
  

• 温湿度：在设备规定的温湿度范围内运行（通常建议温度稳定在20°C ± 2°C，湿度<60%）。避免温度剧烈变化和阳光直射，防止部件热胀冷缩影响精度。

  
  

2. 规范的开机与关机：

   
   

• 按照操作手册顺序开机（通常先开主机、控制器，后开软件）和关机。让系统有必要的初始化时间。

  
  

• 关机前，确保探针已抬起并回到安全位置，样品台移至合适位置。

  
  

3. 样品准备与操作规范：

   
   

• 清洁样品：测量前务必清洁样品表面，去除灰尘、颗粒、指纹。污染物会污染探针、划伤样品，并导致测量误差。

  
  

• 小心放置与固定：轻拿轻放样品，使用合适的夹具（如真空吸盘）固定牢固，防止测量中移动。避免样品超重或尺寸超出样品台范围。

  
  

• 探针操作：在移动样品台或手动操作时，务必确认探针已抬起，避免碰撞。自动测量过程中，监控初始接触阶段，如有异常立即暂停。

  
  

1. 日常检查：每次测量前后，通过软件的视频显微镜或目镜（如有）观察探针针尖。确认针尖完好、无污染物附着、无可见破损或磨损。

   
   

2. 清洁：如果发现针尖有轻微污染物（如灰尘、有机残留），可使用专用的探针清洁工具（如非常柔软的无尘棉签）蘸取高纯度溶剂（如电子级甲醇或丙酮），在显微镜监视下极其轻柔地擦拭针尖侧面。切勿用力轴向戳刺针尖。如果不确定，应联系专业人员。

   
   

3. 更换：当探针针尖明显磨损（导致测量轮廓变宽、台阶底部圆滑）、破损或严重污染无法清洁时，需要更换探针。更换探针需严格按照操作规程进行，并可能需要进行针尖半径校准或偏移量校准。

   
   

4. 校准：新安装探针或长时间使用后，建议进行针尖半径校准（如果软件支持）和测量系统的偏移/线性校准，以确保测量准确性。

   
   

1. 导轨与轴承：保持X、Y、Z轴导轨清洁。可定期用干净的无尘布轻轻擦拭裸露的导轨表面。按照制造商建议的周期，由专业人员检查润滑情况。

   
   

2. 样品台：定期清洁样品台表面，避免碎屑或污物影响样品平整度或定位精度。

   
   

3. 定期检查：注意听设备运行有无异常噪音，观察运动是否平滑顺畅。如有异常，及时停机检查。

   
   

1. 校准标准件：配备经认证的台阶高度标准样块（具有已知、可追溯的台阶高度，如几十纳米到几微米不等）。

   
   

2. 定期校准：按照操作手册或质量体系要求（如每月、每季度），使用标准样块对设备的垂直（Z轴）测量精度和重复性进行校准。测量标准台阶的高度，与标准值比较，计算误差。如果误差超出允许范围，需根据软件指引进行校准系数调整或联系服务人员。

   
   

3. 水平（X轴）校准：使用经认证的光栅尺或标准间距样块，对水平方向的位移精度进行校准。

   
   

4. 日常快速验证：在日常测量前后，可以用一个稳定的内部参考样品（如一个已知高度的旧样品）进行快速测量，监控设备的短期重复性。

   
   

1. 软件备份：定期备份测量软件的配置文件、用户自定义的测量程序（Recipe）、校准数据等。

   
   

2. 系统更新：关注制造商发布的软件更新或固件更新，这些更新可能包含功能改进或错误修复。在更新前做好备份。

   
   

3. 数据管理：定期归档和备份测量数据，建立规范的数据存储和命名体系。

   
   

• 预防性维护：与供应商签订预防性维护合同，由专业工程师定期（如每年）上门进行全面的检查、清洁、调整和性能验证。

  
  

• 故障维修：当设备出现无法自行解决的硬件或软件故障时，应及时联系制造商或shou 权服务商，切勿自行拆卸精密部件。

  
  

• 日常使用情况（日期、操作者、主要测量样品）。

  
  

• 探针检查、清洁和更换记录。

  
  

• 校准日期、标准件信息、校准结果和操作者。

  
  

• 任何异常情况、故障描述及处理过程。

  
  

• 预防性维护和维修的历史记录。

  
  

通过坚持执行上述日常维护和定期校准规程，可以最da 程度地保持全自动台阶仪JS2000B的最jia 性能状态，确保其测量数据的准确性和长期可靠性，为生产和科研工作提供稳定支持。

全自动台阶仪 JS2000B 日常维护指南