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Sensofar三维共聚焦白光干涉显微镜S lynx2，是一款多功能、用途广泛的3D光学轮廓仪，用于粗糙度、体积和临界尺寸测量。3D白光干涉共聚焦显微镜是将高清晰度共聚焦显微镜、纳米级白光干涉仪和多焦面叠加三维显示技术融合在一台仪器中。因此具有这三种产品的*性：即具备高横向分辨率的共聚焦影像效果、也具备白光干涉仪的纳米级的垂直分辨率、同时具备多焦面叠加高达86度的倾斜角度观察能力。
更新时间：2025-10-20
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