SensofarCSI（白光干涉）是如何运作的?Sensofar干涉为了测量超光滑的表面及中等粗糙表面的表面高度，通过干涉技术，可在任何放大倍率下实现相同的系统噪声，它可实现优于0.01nm的系统噪声。干涉工作原理干涉技术的工作原理是：将光分成光学传播路径不同的两个光束，然后再合并，从而产生干涉。干涉物镜允许显微镜作为干涉仪而工作；焦点对准后，可在样本上观察到条纹。CSI（白光干涉）使用白光扫描光滑到中等粗糙表面的表面高度，任何放大倍率下均达到1nm的高度分辨率。采用干涉法，...

本案例研究中，Linkam和SensofarMetrology展示了在为温控光学轮廓测量实验生产实验装置方面的合作。由于球面像差引起的成像问题，在过去一直是一个难点工序。使用Linkam的精密冷热台和Sensofar的Linnik物镜解决了这些问题，实现了纳米材料3D形貌轮廓的精确测量。我们观察了硅晶片在20°C到380°C温度范围内的形貌变化。快速热处理（RTP）是硅晶片制造过程中的一个重要步骤，其中晶片在短时间内快速加热到高温，然后以受控方式缓慢冷却，为晶片赋予所需的半导...

我们的研究涉及设计产生干涉颜色的微结构。我们对这种光学机制的第一次报告出现在Goodling,A.E.,等(2019)的论文中。“通过微尺度凹面界面的全内反射和干涉实现的颜色化。”Nature566(7745):523-527。光在微结构内通过全内反射反弹，并且在经历不同反射路径的光线之间发生光学干涉。我们设计微结构化表面来控制光的反射和产生的颜色。我们需要测量表面地形，以便将光学性质与表面几何形状关联起来。微结构的几何形状，如它们的深度、宽度、角度和表面粗糙度都会影响光学性...

该案例研究专注于开发具有高硬度和同时具有较低摩擦系数的纳米复合W-C:H涂层。我们研究了在混合PVD-PECVD工艺中由添加到溅射大气中的烃（主要是乙炔）得到的不同氢化碳基质含量的W-C:H涂层系统。涂层是使用三种不同的PVD技术（直流磁控溅射、HiPIMS、HiTUS）制备的，通过不同的烃气添加来控制氢化碳的含量。由于此处研究的涂层的摩擦行为是由球上的转移层形成来控制的，而我们早期的工作重点是研究硬度和摩擦系数之间的基本关系，因此重点转向了转移层本身的演变的研究。重要的是要...

螺旋插刀用于制造螺纹。螺旋加工过程复杂，这就是为什么插刀上有许多不同的角度（前角、后角、间隙角）（图1a）。此外，有些插刀上还有多达3个刃齿。这使得插刀的测量变得非常困难。在先前的质量评估中，人们不得不依赖于简单的光学设备来评估尺寸精度，并使用探针设备测量表面粗糙度。然而，这些测量的信息价值非常有限。此外，通常需要破坏零件以便测量所需的尺寸。为了不断提高工具的质量，需要一种灵活的设备来测量和评估切削工具的关键尺寸和表面粗糙度。本案例研究的目的是使用3D光学轮廓仪测量插刀的切削...

Robocasting是用于陶瓷基材料的第一代挤出增材制造方法，可构建包含连续层的成品零件。它具有易于加工和经济实惠的优点，并且适用于多种材料。Robocasting有望用于生产压电传感器、陶瓷晶格过滤器或陶瓷晶格结构，例如定制的骨植入物。扫瞄式电子显微镜(SEM)等常规方法可以用于测量烧结零件上的一些几何信息，但是，印刷陶瓷层很难通过这些常规方法进行测量。在这项研究中，研究人员使用了一台非接触式3D表面测量共聚焦显微镜（Sneox，Sensofar，巴塞罗那）来测量单层陶瓷...

1-.ScottRS,UngarPS,BergstromTS,BrownCA,GrineFE,TeafordMF&WalkerA(2005).牙齿微磨损质地分析显示，人化石中人种的饮食差异。Nature436693-695.2-.EvansAA,DonahueRE(2008).激光扫描共聚焦显微镜：研究石器时代微磨损的潜在技术J.Archaeol.Sci.35,2223-2230.3-.GillPG,PurnellMA,CrumptonN,BrownKR,GostlingNJ...

所测样品是指尖皮肤的复制品。在这个例子中，在测量过程中难以完*保持手指绝对静止，因此需要使用测量复制品的间接测量方法。目的是获得用于模拟皮肤微观几何形状的信息，以便创建简化的虚拟模型。模型被用于有关瞬态振动从手持式设备（例如冲击扳手和凿子机）经由皮肤传播到发生损坏的神经的有限元分析(FEA)中。这些振动会导致称为“白手指”的医疗状况，也是一种常见的工作相关健康问题。在这项由政府资助的项目之前，尚没有针对此特定目的皮肤微观几何形状表征研究。图1.皮肤概述，测量区域描绘在矩形蓝色...