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  • 202411-15
    Sensofar共聚焦白光干涉仪 用于CMP中垫面光泽监测及3D测量

    化学机械平面化(CMP)是半导体、硬盘和LED晶片制造行业的关键过程,用于实现基板晶片所需的平整度。平面化对于确保结构内多层互连的功能性以及在保持均匀性的同时减少晶片厚度至关重要。随着特征尺寸继续缩小和集成级别继续提高,CMP预计在未来微电子设备的发展中将扮演越来越重要的角色。通过精确控制表面地形和材料属性,CMP可以实现新型的设备架构,如3D堆叠、finFETs、纳米线和量子点。此外,化学机械平面化还可以通过克服传统蚀刻技术的限制,促进新材料的集成,如高k电介质、低k电介质...

  • 202411-14
    共聚焦白光干涉仪 | 用于摩擦涂层的表面表征:磨损性能、厚度和粗糙度

    研究重点是改善类金刚石(DLC)涂层的摩擦力学性能。这类涂层采用新型PVD技术高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS),通过正脉冲沉积在工具钢上。这些涂层因其优异的耐磨性、极低的摩擦系数、*高的硬度或生物相容性而受到业界的高度关注。研究的目的是提高DLC涂层在不同钢基材上的附着或耐磨性等摩擦力学性能。我们期望借助Sensofar的3D光学轮廓仪,在更高质量的2D和3D图像中以更高的测量精度进行表面表征。我们测量了有涂层和无涂层圆形样品和平面样品。使用不同的钢材和陶瓷作为基材。使DL...

  • 202411-14
    共聚焦白光干涉仪 用于表征增材制造中的工艺诱导形状和表面纹理变化

    在过去十年中,增材制造因其相对于传统减材和等材方法的优点而被工业界采用。对于创造复杂几何形状来说,增材制造所提供的可能性使用传统制造方法是无法实现的。然而,其存在一些缺点,如缺乏标准化、难以控制生产出样品的尺寸和表面性质以及在大多数情况下需要后续处理步骤等。在本研究中,我们希望通过测量形状和表面纹理,来测量单个参数在制造部件最终性能上可能产生的改变。研究1.作为工艺参数(材料及其他)函数的形状偏差对于本研究案例,我们使用“选择性激光熔化”技术两次生产相同的试样,但是使用了两种...

  • 202411-13
    用于对通过飞秒脉冲激光加工工艺生产的汽车发动机缸套进行的织构形状评估

    激光加工工艺通过进行毛化,产生表面摩擦、触觉行为、润湿特性等强化功能性能来开发设计表面。在皮秒和飞秒区域中使用超短脉冲持续时间的激光加工让表面毛化具有高度精致的微几何形状、边缘和效果。5轴激光加工使三维部件的无缝毛化能够具有复杂的轮廓。SensofarSneox3D光学轮廓仪已成为MTC表面织构开发的一个组成部分。在与一家汽车公司进行的合作实验研究中(该研究为欧洲资助的Prometheus项目的一部分),在MTC开发了表面织构,并使用飞秒激光系统将其应用到汽车内燃机缸套部分的...

  • 202411-13
    Sensofar光学轮廓仪 | 用于激光雕刻钢材嵌件的尺寸分析

    激光技术非常适合用于制造模具中的微孔、微流控通道或甚至是强化钢或硬金属工具的微铣削。我们使用纳秒和飞秒激光来实现出色的表面质量。因此,激光技术用于功能性纹理,在其中雕刻的纳米结构增加了功能性。例如,我们可以创建减少摩擦或增加衍射、捕获或扩散的结构。其他结构可能是超疏水甚至是抗菌的。对于功能性纹理,超短脉冲持续时间的激光,如飞秒激光,有两个主要优势。首先,微铣削没有毛刺,因此部件几乎没有热效应。结果是一个干净、锐利的微铣削,具有明确的边缘和高质量的表面处理。其次,因为它是一个“...

  • 202411-12
    高分子切片机在 病理学研究中的应用实例

    在医学领域,病理学研究是诊断疾病、指导治疗和评估疗效的重要手段。组织切片技术作为病理学研究的核心环节,对于疾病的诊断和研究具有重要意义。组织切片机作为一种关键的设备,为病理学家提供了高效、准确的组织切片制作方法。本文将以该设备在病理学研究中的应用实例为主题,详细介绍其在各个领域的应用情况。高分子切片机在肿瘤病理学研究中发挥着重要作用。通过对肿瘤组织的切片观察,病理学家可以准确地判断肿瘤的类型、分级和侵袭性,为临床制定个体化的治疗方案提供依据。该设备在肿瘤病理学研究中的广泛应用...

  • 202411-12
    Sensofar共聚焦白光干涉仪用于集成电路封装

    QFN引脚*受欢*的集成电路封装类型之一是QFN(Quad-flatNoLead,四扁平无引线)封装,因为它能够满足包含消费电子、汽车以及高功率产品等在内的众多不同应用中的需求。引脚的平整度是一个重要的待评估的元素。使用SensoVIEW的轮廓工具,我们可以很好的评估它。QFN导热垫平整度(Sz)对于确保焊盘和芯片底部之间的良好连接以实现高性能的散热至关重要。SensoVIEW可以直接进行平整度评估,但为了避免测量中由于干扰信号造成的可能出现的尖峰,我们应用了调平和设置合适的...

  • 202411-11
    Sensofar共聚焦白光干涉仪 | 用于维尔戈干涉仪仪器挡板的粗糙度表征

    引力波是时空织物中的波动。当重要的宇宙事件如超新星爆炸或黑洞之间的相互作用发生时,所产生的引力波可以在地球上被探测到。经过50年的科学研究和技术发展,我们已经能够感知引力波。先进维尔戈是一个巨大的迈克尔逊干涉仪,能够探测到引力波(图1)。它有两条垂直的长达3公里的臂,悬挂的镜子和其他必要的仪器来组成一个干涉仪。引力波通过悬挂的镜子的运动来改变光束的光学路径。光学路径随之改变,形成了干涉图样。图1.先进维尔戈探测器的图片。由EGOVirgo提供。巴塞罗那高能物理研究所(IFAE...

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