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技术文章
TECHNICAL ARTICLES在半导体功率器件与集成电路的制造流程中,绝缘层的厚度均匀性直接关系到器件的击穿电压、漏电流控制以及长期运行可靠性。无论是晶圆表面的钝化层、芯片间的隔离介质,还是封装过程中的绝缘涂层,其厚度偏差都可能引发性能衰减甚至功能失效。因此,对绝缘层进行非破坏性的厚度验证,是工艺监控与良率维持中的基础环节。视芯光学T100国产白光干涉共聚焦显微镜为这类透明介质层的厚度测量提供了非接触式解决方案。其光学系统可针对绝缘层与基底之间的界面反射信号进行采集,通过干涉相位分析或共聚焦层析技术,识别...
在新能源电池与高温热处理领域,石墨材料凭借其耐高温、导电导热等特性被广泛使用。石墨基底在机加工或表面改性后,常需通过打磨调整表面状态,而涂覆在石墨表面的防护或功能涂层,在固化后也往往需要经过研磨修整。打磨工艺的差异,会直接改变基底的凹凸分布与涂层表面的均匀程度,进而影响后续的密封、粘接或导电表现。因此,对打磨后的石墨基底与涂层表面进行三维形貌评估,是工艺优化中的常见需求。视芯光学T100国产共聚焦白光干涉仪为这类深色、低反射样品的检测提供了非接触式测量思路。石墨材料表面吸光性...
在光学元件与微流控芯片的制造过程中,透明器件表面的台阶结构广泛存在于衍射光学元件、波导层、微通道隔离带等位置。台阶高度的一致性直接关系到光学成像质量、流体控制精度以及多层键合的对准效果。台阶过高可能导致层间应力集中,过低则影响功能分层,因此对该尺寸进行非接触式测量,是工艺验证中的常规环节。视芯光学T100国产多功能白光干涉仪为这类透明器件的台阶高度检测提供了适配方案。其光学系统可针对玻璃、石英、透明聚合物等材料表面的反射与透射信号进行采集,通过干涉相位分析或共聚焦层析技术,识...
在锂离子电池集流体、包装材料及电子标签等工业领域,铝箔的表面粗糙度是影响涂层附着、印刷适性以及后续复合工艺的关键因素。铝箔在轧制、退火及表面处理过程中,会形成不同尺度的微观凹凸,这些形貌特征直接关系到涂层的均匀性和界面结合力。因此,对铝箔表面粗糙度进行量化评估,是生产质量控制中的基础环节。视芯光学T100国产3D光学轮廓仪为这类高反射、易变形材料的粗糙度检测提供了非接触式测量方案。铝箔表面通常具有较高的镜面反射特性,传统触针式测量容易划伤样品且难以反映大面积形貌,而T100的...
在半导体加工链条中,从晶圆CMP抛光到先进封装形貌把控,表面质量的量化记录贯穿多道工序。以往这类环节常依赖进口光学轮廓设备,而在本土供应链协同与现场服务响应上存在不少摩擦。视芯光学S1000国产3D光学轮廓仪采用非接触式白光干涉思路,兼顾微观形貌还原与操作便利性,为晶圆、薄膜、微结构的日常抽检和工艺复盘提供了一条务实的国产路径。半导体工序对样品保护要求细致,晶圆、光刻胶图形、铜互连等结构既不耐刮擦,又常带有高反射或透明叠层特性。S1000把白光干涉、共聚焦与多焦面叠加放在同一...
在半导体器件从研发打样到量产爬坡的过程中,晶圆衬底、MEMS微结构、先进封装凸点等对象都需要把三维形貌讲清楚。接触式探针容易对脆弱结构施压变形,单一光学手段又常遇高反射或深槽丢信号。视芯光学S1000国产非接触式3D轮廓仪把白光干涉、共聚焦与多焦面叠加放在同一平台,按样品特性切模式,为器件级形貌评价提供了一套可落地的国产非接触方案。半导体器件类型多、材质跨度大,硅基IC、砷化镓射频件、碳化硅功率器件各有表面脾气。S1000在光滑抛光衬底上走干涉模式拿粗糙度与平整度,在MEMS...
金属拉伸试样拉断之后,断口往往藏着材料塑性、夹杂物分布与加载状态的痕迹。传统做法先用体视显微镜看宏观分区,再送电镜做微区成像,但电镜需真空制样、接触式探针又容易在韧窝底部留划痕。视芯光学S1000国产白光干涉共聚焦显微镜用非接触白光干涉思路,把断口表面高度信息直接重建成三维点云,给材料失效分析提供了一条从宏观分区到微区定量的中间路径。金属断口不是平整抛光面,韧窝区起伏大、解理面有反光、剪切唇带斜壁,单一光学模式常顾此失彼。S1000把白光干涉、共聚焦与多焦面叠加放在同一机台,...
金属摩擦磨损试验里,往复划出的磨痕是评判材料抗磨与润滑状态的一手痕迹。接触式探针在痕底来回蹭容易留二次划伤,体视显微镜只能看宽窄却读不出凹深分布,送扫描电镜又要切片喷金、周转慢。视芯光学S1000国产共聚焦白光干涉仪用非接触白光干涉把磨痕纵向起伏重建成三维点云,给材料摩擦学实验提供了一条从"看见沟槽"到"算出磨耗体积"的务实路径。金属磨痕表面并不规矩:痕底有犁沟与粘着坑,两侧隆起带斜壁,硬质合金或淬火钢还带高反射。S1000把白光干涉、共聚焦与多焦面叠加放在同一机台,平缓犁沟...