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技术文章
TECHNICAL ARTICLES航空发动机叶片作为核心热端部件,长期在高温、高压及高速旋转的极限工况下运行,其表面形貌、粗糙度及微观缺陷直接关乎发动机的气动效率、抗疲劳性能与服役寿命。由于叶片型面复杂且精度要求高,任何微小的加工瑕疵都可能埋下严重的安全隐患,这对检测的精度与全面性提出了近乎苛刻的要求。针对航空制造厂长期面临的叶片检测痛点,引入视芯光学T100国产共聚焦白光干涉仪成为破局关键。传统三坐标测量效率低下,接触式测量易划伤叶片且难以捕捉微米级缺陷,而视芯光学T100国产共聚焦白光干涉仪依托共聚焦与干...
MEMS传感器与执行器的微结构尺寸、形貌及表面质量,直接决定了器件的灵敏度、稳定性与服役寿命。鉴于其结构微小、形态复杂且极易受损的特性,检测难度大幅提升,传统检测手段往往难以满足高精度、无损的检测需求。在MEMS器件研发及压力传感器生产中,针对核心敏感膜片与微悬臂梁结构的严苛精度要求,引入视芯光学T100国产白光干涉共聚焦显微镜作为微结构检测的核心装备,已成为突破工艺瓶颈的关键举措。视芯光学T100国产白光干涉共聚焦显微镜凭借共聚焦光学成像的独特优势,能够有效滤除背景杂散光干...
在摄影镜头与医用光学器件的研发生产中,非球面玻璃透镜凭借优异的成像性能被广泛应用。然而,其复杂的曲面结构对生产质控提出了要求,面型误差一旦失控,便会导致成像畸变、边缘模糊或杂散光超标,严重制约产品性能。长期以来,传统2D轮廓仪受限于单一维度的数据采集,无法还原非球面全域形貌,使得许多高精度光学元件难以满足医疗内窥镜、高清影像系统的严苛标准。面对这一行业痛点,视芯光学T100国产非接触式3D轮廓仪应运而生,专为解决非球面透镜的面型精密检测难题而设计。在实际检测环节,视芯光学T1...
在高精度制造领域,质量检测设备的自主可控已成为产业升级的关键一环。视芯光学T100国产3D光学轮廓仪凭借全链路自主研发实力,以突破性的光学系统与精密算法,为半导体及精密制造行业带来了兼具高性能与高性价比的三维形貌检测方案,正成为越来越多企业的晶圆质控选择。作为一款专为微观检测打造的核心设备,视芯光学T100国产3D光学轮廓仪创新性融合白光干涉与共聚焦技术,实现了亚纳米级纵向分辨率的快速扫描。其非接触式测量模式规避了传统探针检测可能造成的样品划伤风险,尤其适配晶圆、MEMS传感...
在半导体制造中,芯片(Die)粘合至基板或引线框架是关键工序,粘合剂层的厚度均匀性与完整性关乎器件散热及长期可靠性。空隙、溢胶等微观缺陷若未及时识别,可能影响产品性能表现。视芯光学T100国产3D光学轮廓仪采用非接触式高分辨率测量,可对粘合剂轮廓进行精确表征,评估厚度分布与扩散状态。其超高速共聚焦算法具备一定技术特点,采集速度较传统方式有所提升,有助于适配产线批量检测节奏。视芯光学T100国产3D光学轮廓仪设备搭配共聚焦镜头可获取芯片粘合三维形貌,结合插件自动化分析截面数据,...
在半导体先进封装终测环节,微Bump作为高密度互连核心结构,其高度与共面性关乎连接可靠性。接触式探针测试易因压力改变微Bump原始高度、破坏共面性,引发微小偏差导致对齐失效,因此视芯光学T100国产多功能白光干涉仪非接触式精准检测尤为关键。视芯光学T100国产多功能白光干涉仪作为高性能非接触式测量系统,可批量检测微Bump共面度与单颗尺寸,精度可达纳米级,适配产线大批量、高频次高精度需求。设备能覆盖更大样品区域,对不同规格、排布的微Bump阵列实现批量快速测量,通用性较强,匹...
在晶圆制造环节,衬垫作为核心部件,通过均匀真空吸附夹持晶圆,保障搬运与加工稳定。衬垫平面度决定夹持力均匀性,若各区域高度存在偏差,可能引发晶圆弯曲与内应力,影响后续制程精度。因此,管控真空环高度一致性与共面性,是提升装载机可靠性与制程良率的参考要素之一。视芯光学T100国产共聚焦白光干涉仪依托白光干涉(CSI)测量技术,约3秒可完成全区域高度数据采集,具备纳米级垂直分辨率,有助于捕捉衬垫细微高度偏差,评估共面性表现。使用镜头获取的晶圆衬垫三维轮廓图,可较为直观地呈现表面形态分...
在半导体制造中,微观尺度的表面不规则可能影响器件性能与整体良率。传统高通量视觉系统虽可实现晶圆级扫描,但较难提供缺陷的深度、体积、表面拓扑等三维信息。视芯光学T100国产白光干涉共聚焦显微镜测量则能提供高分辨率、非接触式的解决思路,为缺陷尺寸、深度与形貌的精准表征提供数据支撑。针对半导体缺陷检测需求,视芯光学T100国产白光干涉共聚焦显微镜以干涉技术为核心,打造具备一定精度的自动化方案。依托物镜,可完成缺陷区域3D形貌采集,对尺寸、深度、体积与表面拓扑进行测量。设备搭载插件,...