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SEM纳米探针台

产品简介

SEM纳米探针台产品实现了三维空间上的准确定位, 它具有分辨率高,尺寸紧凑,行程大,操作简单,能在真空下使用等优点,可应于SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。

产品型号:
更新时间:2024-05-09
厂商性质:代理商
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SEM纳米探针台产品实现了三维空间上的准确定位, 它具有分辨率高,尺寸紧凑,行程大,操作简单,能在真空下使用等优点,可应于SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。

SEM纳米探针台产品使用压电陶瓷驱动,运无需润滑,百分真空兼容,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

三轴探针台由三个单轴运动台组合而成。一SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头,实现微纳操纵和测量的目的。

SEM纳米探针台

    • 结构紧凑,高刚性

    • 压电陶瓷位移平台具有超长使用寿命

    • 内部根据需求可增加位置反馈

    • 应用:纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等

    • 适配SEM:日本电子、 日立、FEI、 TESCAN等

应用案例:

SEM纳米探针台        SEM纳米探针台

对二维材料的电学测量              对器件的电学测量

SEM纳米探针台        SEM纳米探针台

对芯片的电学测量             对一维材料的电学测量



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