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扫描电镜原位气氛加热环境测量系统将MEMS气氛环境微腔和加热模块集成到扫描电镜样品台上,在扫描电镜中制造可控的气氛环境并且可以对实验样品原位加热。
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扫描电镜原位气氛加热环境测量系统性能指标
气体流动指标:
● 三通道混气;
● 气压范围:0 - 1 Bar;
● 气压准确度:30 mBar;
● 气体流速: 0.01 - 0.4 ml/min;
● 可通气体:H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等;
● 软件控制。
扫描电镜指标:
● 兼容类型电镜;
● 保证电镜原有真空度;
● MEMS反应微腔指标:
● 高质量氮化硅膜厚度30 nm;
● 样品漂移优于0.7 nm/min。
热学指标:
● 温度范围:室温至800 ℃;
● 温度准确度:优于5%;
● 温度稳定性:优于±0.1 ℃;
● 四电极加热,带温度反馈;
● 软件控制。
部分国内用户
部分国外用户