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产品简介
泽攸透射电镜原位MEMS低温电学测量系统，是在标配MEMS芯片样品杆上集成低温控制模块，实现低温电学测量或全温区测量功能。
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泽攸透射电镜原位MEMS低温电学测量系统，是在标配MEMS芯片样品杆上集成低温控制模块，实现低温电学测量或全温区测量功能。
泽攸透射电镜原位MEMS低温电学测量系统，是在标配MEMS芯片样品杆上集成低温控制模块，实现低温电学测量或全温区测量功能。
性能指标
透射电子显微镜指标：
● 兼容指*型号电镜及极靴；
● 单倾可选高倾角版本；
● 可选双倾版本，β角倾转±25°（同时受限于极靴）；
● 测量电极数可选。
电学测量指标：
● 包含一个电流电压测试单元；
● 电压输出最大±200 V，最小±100 nV；
● 电流测量最大±1.5 A，最小100 fA；
● 恒压或者恒流模式；
● 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。
低温指标：
● 兼容MEMS加热及电学芯片；
● 全温区测量，温度范围：85 K- 380 K；
● 控温稳定性：优于±0.1 K；
● 温度连续可控。