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台式电镜&台阶仪&原位分析
泽攸TEM原位方案(样品杆)
泽攸透射电镜原位MEMS低温电学测量系统
泽攸透射电镜原位MEMS低温电学测量系统,是在标配MEMS芯片样品杆上集成低温控制模块,实现低温电学测量或全温区测量功能。
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泽攸透射电镜原位MEMS低温电学测量系统,是在标配MEMS芯片样品杆上集成低温控制模块,实现低温电学测量或全温区测量功能。
性能指标:
1.透射电子显微镜指标:
(1)兼容指*型号电镜及极靴;
(2)单倾可选高倾角版本;
(3)可选双倾版本,β角倾转±25°(同时受限于极靴);
(4)测量电极数可选。
2.电学测量指标:
(1)包含一个电流电压测试单元;
(2)电压输出最大±200 V,最小±100 nV;
(3)电流测量最大±1.5 A,最小100 fA;
(4)恒压或者恒流模式;
(5)自动电流-电压(I-V)测量、电流-时间(I-t)测量,自动保存。
3.低温指标:
(1)兼容MEMS加热及电学芯片;
(2)全温区测量,温度范围:85 K- 380 K;
(3)控温稳定性:优于±0.1 K;
(4)温度连续可控。