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产品中心三维光学轮廓仪BEUKER白光干涉光学轮廓仪布鲁克白光干涉轮廓仪产品介绍
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布鲁克白光干涉轮廓仪产品介绍布鲁克白光干涉仪的应用范围覆盖了从前沿科学研究到工业化生产的多个环节。
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布鲁克白光干涉光学轮廓仪是一种用于表面形貌测量的光学设备。该仪器基于白光干涉原理，能够对多种材料的表面进行非接触式三维形貌测量。其核心部件包括光源系统、干涉镜头、精密位移台和信号处理单元。设备采用模块化设计，可根据用户需求选配不同放大倍率的物镜，以适应从微米到纳米级别的测量需求。布鲁克白光干涉轮廓仪产品介绍
该产品的主要用途包括材料科学、微电子制造、精密加工和生物医学等领域的表面质量检测。例如，在半导体行业，可用于晶圆表面粗糙度和台阶高度的测量；在光学加工中，可用于透镜和反射镜的面形检测。
仪器使用高刚性合金材料外壳，内部光学元件采用抗环境干扰设计，具有良好的热稳定性和机械稳定性。配套的操作软件提供数据采集、分析和报告生成功能，用户可通过图形界面轻松完成测量设置和结果解读。
参数方面，该型号垂直分辨率可达0.1纳米，横向分辨率取决于物镜配置，最高可达0.3微米。扫描范围通常为数毫米至数十毫米，具体取决于型号和配置。测量速度可根据精度要求进行调整，平衡效率与数据质量。
使用该设备时，需先将样品固定在载物台上，通过软件选择测量区域和参数，启动自动测量程序即可。仪器支持自动聚焦和多区域扫描功能，适合批量检测需求。定期维护包括光学元件清洁和系统校准，以保证长期使用的稳定性。布鲁克白光干涉轮廓仪产品介绍