泽攸电镜从开箱到成像的全流程解析

对于接触扫描电镜的用户而言，复杂的操作流程往往成为技术应用的障碍。泽攸科技ZEM15C台式电镜通过智能化设计与详细指南，帮助用户快速掌握成像技巧。

开箱检查与环境准备

1. 设备验收：检查主机、样品台、备用灯丝与工具包是否齐全。

2. 环境要求：选择温度20℃±5℃、湿度低于60%的实验室，避免阳光直射与强电磁干扰。

3. 安装步骤：将设备放置于稳固实验台，连接电源线与接地线，插入真空泵油管。

成像操作十步法

1. 开机预热：按下电源键后，等待控制器自检完成（约5分钟）。

2. 样品固定：用导电胶将样品粘贴于样品台，避免遮挡探测器视线。

3. 抽真空：关闭样品室门，点击“抽真空"按钮，观察真空度降至0.01Pa以下。

4. 电压设置：根据样品导电性选择5kV（弱导电）或15kV（强导电）。

5. 光斑调整：将“光斑直径"调至“中"，勾选“自适应"以优化亮度对比度。

6. 聚焦消像散：粗调聚焦旋钮使图像清晰，切换至“消像散"模式消除椭圆畸变。

7. 倍数调整：逐步放大至目标倍数（如10,000x），避免直接跳至高倍导致图像模糊。

8. 图像采集：选择“连续采集"模式，设置帧数（16-64帧）与平均点数（4-8）以降低噪声。

9. 数据保存：将图像导出为TIFF或BMP格式，记录实验参数与样品信息。

10. 关机流程：先关闭高压电源，待真空度回升后打开样品室，取出样品。

常见问题解决方案

• 图像模糊：检查样品是否平整，或调整工作距离（建议5mm-10mm）。

• 真空故障：清理样品室灰尘，检查真空泵油是否乳化。

• 电子束偏移：重新执行“光阑对中"校准程序。

维护与保养周期

• 每日：清理样品室与电子枪窗口灰尘。

• 每周：检查真空泵油位，补充至刻度线以上。

• 每月：用异丙醇擦拭样品台导轨，涂抹润滑脂。

• 每季度：联系厂家进行电子光学系统校准。

通过标准化操作流程与预防性维护，ZEM15C可长期保持优良成像状态，为用户提供稳定可靠的微观分析支持。