ZEM20台式扫描电镜：微观世界的“多面手”

在材料科学、新能源开发及生物医药等领域，微观结构的分析需求日益增长。泽攸科技推出的ZEM20台式扫描电子显微镜（SEM），凭借其紧凑设计、多功能集成与便捷操作，成为实验室与工业场景中的“微观观测工具"。

一、核心性能：从纳米级形貌到成分分析

ZEM20的加速电压范围为3kV至20kV，支持1kV步进调节，最高放大倍数达360,000倍，分辨率优于4nm（20kV下）。其电子枪采用预对中钨灯丝设计，搭配一体式聚光镜，无需手动调节物镜光阑，显著降低操作门槛。设备标配五轴全自动样品台（X/Y/Z/R/T轴），行程范围覆盖X轴90mm、Y轴50mm、Z轴32mm，旋转角度360°，倾斜角度-10°至90°，可灵活适配复杂样品的多角度观测需求。

二、创新设计：兼顾效率与拓展性

1. 真空系统：真空分隔技术将电子枪与样品仓独立抽真空，换样时间缩短至30秒内，大幅提升实验效率。设备支持高真空（抽真空时间＜30秒）与低真空（1-100Pa自动控制）双模式，无需喷金即可直接观察弱导电样品（如聚合物、生物组织），减少样品制备流程。

2. 样品舱：超大样品舱尺寸达185mm×176mm×125mm，兼容两轴（120mm×100mm×75mm）与五轴样品台，可容纳大型块状样品或异形结构件。舱内配备高清摄像头与光学CCD导航系统，支持实时监控样品位置与状态。

3. 探测器组合：集成二次电子探测器（SE）、四分割背散射电子探测器（BSE）及集成式能谱仪（EDS），支持SE+BSE模式同步采集与图像叠加，可同时获取样品表面形貌与成分分布信息。

三、用材与参数：细节彰显品质

• 灯丝材料：预对中钨灯丝为标准配置，可选配LaB6灯丝以提升亮度与寿命。

• 信号采集：带宽高达10MHz，支持视频模式（512×512像素实时显示）、快速模式（＜3秒扫描）与慢扫模式（＜40秒获取2048×2048像素高分辨率图像）。

• 图像处理：软件内置自动亮度对比度、自动聚焦、自动消像散及大图拼接功能，支持BMP/TIFF/JPEG/PNG格式输出。

• 环境适应性：主机尺寸650mm×370mm×642mm，机械泵454mm×165mm×252mm，无需专用减震台，常规市电（AC 220V, 50Hz, 1kW）即可运行。

四、应用场景：从实验室到生产线

ZEM20适用于金属材料裂纹分析、半导体器件失效检测、锂电池电极微观结构表征、生物细胞形貌观察等领域。例如，在锂电行业中，其低真空模式可直接观察未喷金的电极材料，结合EDS能谱分析，可快速定位锂枝晶生长位置与成分变化；在半导体领域，五轴样品台支持晶圆边缘缺陷的多角度观测，助力工艺优化。

五、操作指南：三步开启微观探索

1. 样品准备：非导电样品需喷金（厚度5-10nm），导电胶固定样品后放入样品舱。

2. 参数设置：通过鼠标选择高/低真空模式，调节加速电压（如15kV）与光斑直径（粗/中/细），启用自适应亮度对比度。

3. 图像采集：低倍下定位目标区域，切换至高倍模式后微调聚焦与消像散，选择合适帧数（如5帧平均）保存图像。

ZEM20以“小体积、大功能"重新定义台式扫描电镜，为科研与工业用户提供高效、灵活的微观分析解决方案。