泽攸电镜ZEM20Pro：应对前沿研究成像能力​

泽攸电镜ZEM20Pro：应对前沿研究成像能力 在纳米材料研究、制造检测和生命科学等领域，对样品进行高分辨率的扫描电子显微镜观察需求日益增长。泽攸科技的ZEM20Pro台式扫描电子显微镜，将高分辨成像能力融入紧凑的桌面设计中，为用户提供了一个无需依赖大型传统电镜的微观成像解决方案。

ZEM20Pro的核心优势在于其电子光学系统的设计。采用热场发射电子枪，这种电子源具有亮度较高和能量分散较低的特点，为获得高信噪比和高分辨率的图像奠定了基础。镜筒内电磁透镜系统经过优化设计，有助于减小像差，实现电子束的精细聚焦。整套光路系统置于高真空环境中，由金属材料制成的镜体结构稳定，减少了外界干扰。

随着材料体系的日益复杂和器件尺寸的不断缩小，科研与工业界对显微成像技术提出了更高要求。泽攸ZEM20Pro台式扫描电镜凭借其热场发射电子枪和优化的光学系统，提供了优于普通台式电镜的成像性能，能够应对更多研究和精密检测场景。

ZEM20Pro的性能表现源于多项技术的综合。热场发射电子枪提供了较小尺寸和高亮度的电子源，这是实现高分辨率成像的关键。电磁透镜系统具有较低的像散，有助于在整个视野范围内获得清晰、无畸变的图像。样品室内部设计考虑了信号收集效率，背散射电子探测器可用于获取成分衬度信息，对分析多相材料有所帮助。整机的机械稳定性和真空系统设计为长时间工作的稳定性提供了支持。

其性能参数为其在应用提供了可能：

• •低电压成像：支持低至200V的加速电压，有助于观察对电子束敏感的样品（如某些半导体、聚合物），减少充电效应。

• •高真空模式：保障了高分辨率成像所需的环境。

• •大范围导航：马达驱动的样品台允许在较大范围内移动和定位，方便寻找特定观察区域。

• •扩展性：预留能谱（EDS）等分析探头接口，支持成分分析功能扩展。

ZEM20Pro的应用场景深入且专业：

• •锂电池研究：观察电极材料（如正负极粉末）的微观结构、循环后的形貌变化以及锂枝晶的生长。

• •集成电路分析：进行芯片剖面的电路结构观察、缺陷定位和失效分析。

• •前沿材料表征：用于钙钛矿太阳能电池、MOF材料、碳纳米复合材料等的微观结构解析。

• •精密制造质检：对MEMS器件、精密光学元件、超硬涂层等进行微纳尺度形貌检测。

在使用说明中，其高级功能值得关注。用户可根据样品特性，灵活选择加速电压和探针电流，在分辨率、衬度和样品损伤之间取得平衡。对于不导电样品，除了常规喷金处理，利用低电压模式进行观察也是一种可行选择。软件中的图像处理和分析工具能满足基本的科研级图像输出要求。

对于高校、科研院所的实验室以及制造业的质检部门，ZEM20Pro提供了一种无需投入大型设备即可获得高分辨成像能力的解决方案。