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台式电镜&台阶仪&原位分析
泽攸台式扫描电镜
泽攸ZEM20Ultro高性能桌面电镜的技术内涵
泽攸ZEM20Ultro高性能桌面电镜的技术内涵泽攸科技ZEM20Ultro台式场发射电镜并非简单的设备小型化,其背后是多项技术的集成与优化,旨在使桌面设备也能承担起对成像有要求的应用任务。理解其技术内涵,有助于用户更好地发挥其效能。
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泽攸ZEM20Ultro高性能桌面电镜的技术内涵
泽攸科技ZEM20Ultro台式场发射电镜并非简单的设备小型化,其背后是多项技术的集成与优化,旨在使桌面设备也能承担起对成像有要求的应用任务。理解其技术内涵,有助于用户更好地发挥其效能。
ZEM20Ultro的核心技术优势源于其冷场发射电子枪(CFEG)。与热场发射(Schottky)枪相比,冷场发射无需加热,其电子能量 spread 通常更窄,这意味着在相同条件下可能获得更佳的图像分辨率和更少的色差。当然,CFEG对真空度的要求也相应较高,其稳定性与系统的真空维持能力密切相关。ZEM20Ultro采用的全金属高真空系统,正是为了满足这一要求而设计,旨在减少碳氢化合物污染,维持电子枪的稳定发射。
在成像信号收集方面,仪器搭载的电子探测器性能对最终图像质量有关键影响。其二次电子探测器对样品表面微区形貌起伏敏感,能呈现丰富的立体细节;背散射电子探测器则对原子序数差异敏感,可用于快速区分不同化学成分的区域。两种信号的综合利用,为用户提供了全面的样品信息。
自动化与智能化操作是另一特点。五轴全自动样品台允许用户通过软件精确控制样品移动、倾斜和旋转,并能实现大面积的图像拼接,方便进行低倍普查和高倍详查。软件系统集成了参数设置、图像采集、图像处理和基本测量功能,流程化的界面设计旨在降低操作复杂度,提升工作效率。
对于样品适应性,较宽的加速电压调节范围(如可从低至0.5kV开始)使得用户能够根据样品性质(如导电性、耐束流能力)灵活选择条件。低电压模式有助于观察非导电样品,减轻荷电效应,而高电压模式则可能用于需要更高束流或更大穿透深度的场景。