泽攸ZEM15：电镜能谱一体分析设备
在材料成分与微观形貌同步分析的需求中，ZEM15 台式扫描电镜能谱一体机凭借集成化设计和实用性能，成为实验室的理想选择。它将扫描电子显微镜与能谱仪的功能结合，实现了微观形貌观察与成分分析的同步进行，为科研和检测工作提供了便捷的解决方案。
产品细节：集成设计兼顾操作便利
ZEM15 的机身采用紧凑型设计，整体尺寸适中，占地面积约 0.6 平方米，适合放置在常规实验室工作台。机身框架选用高强度合金材料，表面经过防腐蚀处理，能适应实验室复杂环境。设备前端为样品室，采用侧开式门设计，最大可容纳直径 40mm、高度 15mm 的样品，样品台支持 X、Y、Z 三维移动，移动范围分别为 30mm、30mm、20mm，调节旋钮操作顺畅，定位精度良好。
核心的电子光学系统与能谱探测系统集成在设备上部，电子枪采用钨灯丝结构，能谱探测器为硅漂移探测器（SDD），两者位置校准精准，确保电子束照射点与能谱探测区域一致。设备配备 10.1 英寸触控显示屏，可同时显示显微图像和能谱分析数据，操作界面包含图像调节、谱图分析等功能模块，布局清晰便于上手。
设备后部设有电源接口、数据传输接口和真空系统接口，其中数据接口支持与电脑连接，可实现图像和能谱数据的导出与进一步分析。真空系统采用内置机械泵，抽气速度较快，且运行噪音较低，对实验室环境影响较小。
产品性能：同步分析保障数据关联
ZEM15 的扫描电镜部分在高真空模式下，二次电子像分辨率可达 5nm，放大倍数范围为 20 倍至 8 万倍，能清晰呈现样品表面的微观形貌，如颗粒分布、孔隙结构等细节。能谱分析部分的能量分辨率优于 133eV（Mn Kα），元素检测范围覆盖 B（5）至 U（92），可对样品表面微区的元素组成进行定性和半定量分析。
设备的成像与分析同步性较好，在观察微观形貌的同时，可随时启动能谱分析功能，对感兴趣区域进行成分探测，减少了样品移动导致的位置偏差，保证形貌特征与成分数据的对应性。能谱分析的采集时间可根据需求调节，通常 30 秒至 1 分钟即可获得满足需求的谱图数据，分析效率能满足常规实验要求。
真空系统的稳定性良好，从大气压降至工作真空度（≤1×10⁻³ Pa）所需时间约 8 分钟，且真空度波动较小，确保电子束稳定和能谱探测的准确性。设备的长期工作稳定性表现不错，连续工作 4 小时后，图像漂移和能谱峰位偏差均在可接受范围内。
用材、参数与用途
ZEM15 的关键部件选用适配性材料，电子枪灯丝为高纯钨丝，具有较长使用寿命；能谱探测器的窗口为超薄铍窗，减少低能 X 射线吸收；样品台表面为陶瓷涂层，耐高温且绝缘性好；真空管路采用不锈钢材质，防腐蚀且密封性能可靠。
部分参数如下：
该设备广泛应用于材料科学、地质矿物、电子器件、环境监测等领域。在材料科学中，可分析复合材料的相分布与成分对应关系；地质领域用于识别矿物颗粒组成；电子行业可检测芯片表面污染物的元素成分；环境监测中能分析大气颗粒物的形貌与元素来源。
使用说明
使用前需检查设备电源连接是否正常，打开主电源后，设备需预热 20 分钟。样品准备时，导电样品可直接用导电胶固定，非导电样品建议进行喷碳处理。将样品台放入样品室并关闭舱门，启动真空系统，待真空度达标后（屏幕显示 “真空就绪"），方可进行后续操作。
通过触控屏调节加速电压（建议 5-10kV 用于形貌观察，10-15kV 用于能谱分析），移动样品台找到感兴趣区域，调节焦距和放大倍数至图像清晰。进行能谱分析时，点击 “采集谱图" 按钮，选择点分析、线扫描或面分布模式，设置采集时间后开始分析，谱图和元素含量数据会实时显示在屏幕上。
分析完成后，先保存数据至设备内置存储或通过数据接口导出，再依次关闭电子枪、真空系统，待样品室气压恢复后打开舱门取出样品。日常维护需每周清洁样品室，每月检查真空管路密封性，每半年更换一次真空泵油。
ZEM15 台式扫描电镜能谱一体机以其集成化设计、同步分析能力和广泛的适用性，为微观形貌与成分关联分析提供了实用工具，适合各类实验室开展常规分析工作。
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