泽攸JS100B微米级膜厚与台阶测量​

泽攸JS100B微米级膜厚与台阶测量

在半导体、微电子、光学镀膜及材料研究等领域，精确测量薄膜的厚度或微观结构的台阶高度是一项常见且重要的需求。半自动台阶仪JS100B是一款基于触针式轮廓测量原理的仪器，它通过测量表面轮廓的变化，来获取薄膜厚度、台阶高度、表面粗糙度等参数，为产品质量控制和工艺研发提供数据支持。

JS100B的设计注重实用性与稳定性。仪器主体采用高刚性金属结构和大理石底座，这种材料组合有助于抑制环境振动带来的干扰，为测量提供稳定的基础。核心的测量单元包含一个金刚石触针和高灵敏度的传感器。金刚石触针耐磨性较好，能保持长时间使用的测量一致性。传感器则将触针感受到的垂直位移转化为电信号。

为了让用户对其能力有清晰认识，以下是JS100B的主要参数概览：

• •测量范围：垂直测量范围可达数毫米。

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• •垂直分辨率：可达亚纳米级别。

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• •扫描长度：最大扫描长度通常为数十毫米。

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• •触针半径：标配金刚石触针，针尖半径约为2微米。

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• •样品台：通常配备可平移的样品台，便于测量样品上的不同位置。

JS100B的用途十分广泛：

• •半导体制造：测量晶圆上的光刻胶厚度、薄膜沉积层的台阶高度。

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• •MEMS加工：用于微机电系统器件的结构高度和深宽比测量。

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• •光学镀膜：检测增透膜、滤光膜等光学薄膜的厚度。

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• •材料科学：研究材料表面的磨损深度、涂层或镀层的厚度。

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• •平板显示：测量OLED等显示材料中各功能层的段差。

使用JS100B时，操作流程较为直观。首先将样品平稳放置在样品台上，通过显微镜或摄像头观察，手动将触针定位到待测台阶的起始位置。在软件上设置扫描长度、速度和采样点等参数后，启动测量。仪器会控制触针在样品表面进行自动扫描，全程无需手动干预。测量完成后，软件会自动计算出台阶高度、粗糙度等结果，并生成图表报告。

总而言之，JS100B半自动台阶仪是一款功能实用、操作简便的接触式轮廓测量工具，适用于需要经常进行微米级和纳米级台阶高度与膜厚测量的多种场景。

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