参数一览：泽攸ZEM20Pro电镜的配置说明​

ZEM20Pro的整体框架采用机械结构设计，具有较好的抗振动和抗磁干扰能力，为高倍数成像提供了稳定的环境。镜筒内部光路部件加工精密，并采用特殊材料进行处理，旨在减少污染和电荷积累，维持电子束通路的洁净与稳定。

样品室是放置样品的核心区域，其内部空间布局合理，部件材质选择考虑了耐磨性和防腐蚀性。五轴优中心样品台采用精密的机械传动结构，允许用户进行平滑、精确的定位，其材质的稳定性保证了长时间使用后仍能保持定位精度。

清晰明了的技术参数是评估仪器能力和适用性的直接方式。以下汇集了泽攸ZEM20Pro台式扫描电镜的主要技术规格，供您全面了解其配置水平。

型号： ZEM20Pro

电子光学系统：

• 电子枪： 预对中高亮度钨灯丝

  
  

• 加速电压： 0.5, 1, 5, 10, 15, 20, 30 kV (软件可选)

  
  

• 分辨率： 30 nm (30kV时)

  
  

• 放大倍数： 10x - 100,000x (连续可调)

  
  

• 束流范围： 约 10⁻⁶ ~ 10⁻¹¹ A

  
  

样品室与样品台：

• 样品尺寸： 最大直径 100 mm (高度依赖样品台)

  
  

• 样品台： 五轴优中心手动样品台

  
  

• 移动范围： X/Y: 0-30mm, Z: 5-35mm, T: -10°~90°, R: 360°

  
  

• 样品座： 标准样品座设计，兼容性强

  
  

真空系统：

• 泵组配置： 分子泵 + 隔膜泵

  
  

• 抽真空时间： ≤ 3分钟 (从大气状态到高真空)

  
  

• 真空度： 优于 6×10⁻³ Pa

  
  

探测系统：

• 标准探测器： 二次电子探测器、背散射电子探测器

  
  

• 图像功能： 自动拼接、图像测量、长时间录像等

  
  

环境与电源：

• 电源要求： AC 220V ± 10%, 50/60 Hz

  
  

• 整机功耗： < 500 W

  
  

• 运行环境： 温度15-30°C，湿度<80%

  
  

从参数表可以看出，ZEM20Pro在核心成像性能、样品适应性、系统效率方面提供了均衡的配置。其加速电压多档可调，便于用户针对不同性质的样品（如导电性差的非金属或生物样品）选择较低的电压进行观察，减少充放电效应。较快的抽真空速度提升了设备使用的连贯性。这些参数共同定义了ZEM20Pro是一台适用于常规科研、质量控制和教育领域的实用型台式扫描电镜。