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产品简介
泽攸ZEM20扫描显微镜：紧凑结构与高效真空台式扫描电子显微镜的长期性能稳定，依赖于定期维护。ZEM20的维护重点集中在真空系统、探测器及环境控制
产品分类
泽攸ZEM20扫描显微镜：紧凑结构与高效真空
ZEM20 采用 6061‑T6 铝合金真空腔，表面经 35 µm 硬质阳极氧化处理，放气率仅 4.5 × 10⁻⁷ Pa·L·s⁻¹·cm⁻²，能够在 3 × 10⁻⁵ Pa 真空下稳定工作。抽气系统由 30 L/min 隔膜泵 + 70 L/s 涡轮分子泵组成，抽真空循环时间约 3 min。
电子枪：CeB₆ 单晶灯丝，寿命约 1500 h，灯丝寿命监控实时显示。
磁透镜：三级磁透镜（聚光、物镜、扫描），采用 1J79 坡莫合金磁屏蔽筒（μr > 40 000），像散校正通过 8 级扫描线圈实现。
探测器：二次电子（SE）与背散射电子（BSE）双通道，可同步显示并拍摄混合图像。
样品台：5 轴中心马达驱动，X/Y 行程 ≥ 110 mm，Z 行程 1.5–40 mm，旋转 360°，倾斜 -5°~70°，配备自动对中、自动对焦、自动亮度对比度（ABCC）功能。
核心参数
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 真空腔材质 | 6061‑T6 铝合金（硬质阳极氧化） |
| 极限真空 | 3 × 10⁻⁵ Pa |
| 抽气系统 | 隔膜泵 30 L/min + 涡轮泵 70 L/s |
| 电子枪 | CeB₆ 单晶灯丝 |
| 加速电压 | 0.5 – 30 kV（0.01 V 步进） |
| 工作距离 | 0.1 – 50 mm |
| 探测器 | SE + BSE |
| 样品台行程 | X/Y ≥ 110 mm，Z 1.5‑40 mm |
泽攸ZEM20扫描显微镜：紧凑结构与高效真空