3D光学轮廓仪S neox的大视野测量能力

产品简介

3D光学轮廓仪S neox的大视野测量能力:Sensofar S neox通过自动图像拼接与多物镜联动，实现从宏观全景到微观细节的无缝测量，确保全域三维数据精准关联，为质量控制与失效分析提供全面洞察。

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更新时间：2025-11-20

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3D光学轮廓仪S neox的大视野测量能力

在质量控制和失效分析中，往往需要在宏观和微观尺度上同时对样品进行考察。例如，需要评估一个大型光学元件的面形精度，同时又要检测其局部区域的微小划痕或瑕疵。这就要求测量设备既具备“俯瞰全局"的大视野扫描能力，又拥有“明察秋毫"的高倍放大细节测量功能。Sensofar S neox 3D光学轮廓仪通过其精密的机械平台、光学系统和智能软件，实现了从宏观到微观的无缝衔接测量。

大视野测量的首要挑战是如何突破单次视场的限制。S neox通过“图像拼接"技术来解决这一问题。仪器驱动电动样品台或扫描镜，按照预设的网格路径移动，系统自动采集相邻的一系列图像和三维数据。随后，利用软件的高精度拼接算法，将这些有重叠区域的数据块无缝拼接成一幅完整的、高分辨率的大面积三维形貌图。这个过程可以是全自动的，用户只需定义拼接的行数和列数，或者直接设定需要覆盖的矩形区域即可。

这种大面积的三维数据对于分析样品的整体平整度、翘曲、应变分布等参数具有价值。例如，在平板显示行业，可以测量玻璃基板的大面积形貌；在新能源领域，可以评估电池极片的涂布均匀性。获取全局信息有助于从整体上把握产品的质量状况。

然而，仅有宏观视野是不够的。当在大视野图中发现感兴趣的区域，如一个疑似缺陷的点时，用户需要能快速地放大并进行高倍率的精细测量。S neox的多物镜集成转盘设计于此发挥了关键作用。用户可以在软件中直接在大视野拼接图上点击感兴趣的位置，软件会自动控制平台将该点移动至视野中心，然后自动切换到更高倍率的物镜（如20倍、50倍甚至150倍），对该区域进行微米或纳米尺度的精细测量。这种从低倍到高倍的自动联动，实现了“导航-定位-精细测量"的一体化流程，无需重新装夹样品，保证了宏观坐标与微观数据的位置关联准确性。

此外，对于需要统计性分析的场景，如表面某种缺陷的分布密度，大视野测量提供了统计的基础。软件可以在拼接后的三维图上，设定 criteria，自动识别和定位所有符合特征的区域，并记录其位置、尺寸、深度等信息，为统计分析提供丰富的数据样本。

Sensofar S neox的大视野测量能力，打破了宏观与微观观察之间的壁垒。它将3D光学轮廓仪的高分辨率优势从单个视场扩展到了整个样品表面，为用户提供了更全面、更立体的样品信息。这种从整体到局部的工作流程，更符合现代研究和质检的实际需求，提升了设备的数据产出效率和洞察力。

3D光学轮廓仪S neox的大视野测量能力

上一个：3D光学轮廓仪S neox在半导体领域应用