共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2 操作流程

• 环境检查：确保设备放置在稳固、无强振动、洁净的工作台上，环境温湿度适宜。

  
  

• 开机：依次打开主机、控制器和计算机电源，启动测量软件。

  
  

• 样品准备：样品表面应清洁、干燥，无灰尘、油污等污染物。对于过小或不平整的样品，可能需要使用黏土或夹具固定在载物片上，确保测量时稳定。

  
  

• 放置样品：将样品平稳放置在仪器载物台上。如果使用电动载物台，通常可以通过软件控制移动，便于寻找测量位置。

  
  

• 选择物镜：根据待测区域的大小和所需分辨率，通过软件控制或手动旋转物镜转盘，选择合适的物镜（如5X， 10X， 20X， 50X等）。

  
  

• 预览对焦：使用软件的实时预览功能，通常是在“摄像机"或“预览"模式下，通过调节Z轴高度（粗调或细调），使样品表面在屏幕上清晰成像。可以利用软件的自动对焦功能辅助快速找到焦面。

  
  

• 定位感兴趣区域（ROI）：移动载物台，将需要测量的特征区域移动到视场中心。对于需要测量多个区域的情况，可以使用软件的多点测量功能预先设定多个位置坐标。

  
  

• 模式选择：这是S lynx2的关键步骤。根据样品表面特性（如光滑度、粗糙度、反射率）选择测量模式：

  
  

• 共聚焦模式：更适合粗糙、漫反射表面（如喷砂金属、涂料、粗糙陶瓷）。

  
  

• 白光干涉模式：更适合光滑、镜面或半镜面反射表面（如硅片、抛光金属、光学表面、薄膜台阶）。

  
  

• 软件可能提供“智能扫描"选项，能自动分析预览图像并推荐模式。

  
  

• 参数设置：

  
  

  扫描范围（Z轴）：设置垂直扫描的起始和结束位置，确保覆盖样品表面的最高点和zui
  低点。可先进行快速预扫描来大致确定范围。

  
  

• 扫描步长：步长越小，垂直分辨率越高，但扫描时间越长。需要根据表面粗糙度和精度要求平衡设置。

  
  

• 其他参数：如光源强度、相机曝光时间、扫描速度等，可根据样品反射情况进行微调，以获得良好的信号对比度。

  
  

• 确认参数后，启动扫描。设备将自动控制Z轴移动，并在每个步长位置采集图像。扫描过程中应避免振动和触碰设备。

  
  

• 扫描完成后，系统会自动处理原始数据（如分析共聚焦的强度峰值或白光干涉的相关峰），生成初步的三维形貌图。

  
  

• 数据修正：软件通常提供一些数据后处理工具，如去除倾斜平面（Leveling）、去除异常噪声点（Spike Removal）、中值滤波等，以改善三维形貌图的视觉效果和分析准确性。

  
  

• 三维可视化：可以从不同角度旋转、缩放三维形貌图，观察表面起伏。可以调整灯光和颜色映射，以突出显示高度差异。

  
  

• 定量测量：这是核心分析步骤。软件工具库通常包括：

  
  

• 尺寸测量：点、线、面的长度、高度、角度、半径等。

  
  

• 面积与体积：计算选定区域的表面积、投影面积、体积、凹槽容积等。

  
  

• 粗糙度分析：按照ISO 25178等标准，计算表面粗糙度参数（如Sa, Sq, Sz等）。

  
  

• 台阶高度测量：自动或手动测量不同平面之间的高度差。

  
  

• 轮廓分析：提取任意截面线，分析其轮廓曲线。

  
  

• 多区域与统计分析：对于批量样品或同一样品上的多个相同特征，可以设置模板进行自动测量，并生成统计报告（如平均值、标准差等）。

  
  

• 将处理后的三维形貌图、二维图像、测量数据和分析图表保存为工程文件。

  
  

• 使用软件的报告生成器，将关键图像、数据表格和统计结果整合到自定义的报告中，导出为PDF、Excel等格式，便于存档、打印或分享。

  
  

通过遵循上述流程，用户可以相对系统地完成从样品准备到结果输出的整个测量任务。熟练操作后，可以进一步探索软件的高级功能，以应对更复杂的测量需求。

共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2 操作流程