主动照明多焦面叠加是一种为了测量粗糙的表面形状而开发的光学技术。这项技术基于Sensofar在共聚焦和干涉3D测量领域的广泛专业知识，专门设计用于补充低放大率下的测量。BACKGROUND多焦面叠加原理主动照明多焦面叠加技术利用了明场中存在景深的特点，样品只有在的特定z范围中对焦。景深会根据物镜的数值孔径或光源波长而变化。Z高度的值是根据图像的高对比度（清晰度或微小细节）来计算的，从而得出正确的对焦位置。光学技术我们的光学技术是通过专*的microdisplay来实现，光线会...

Sensofar共聚焦白光干涉仪|共聚焦技术共聚焦技术能够测量表面高度，将常规图像转换成光学剖面，其中，物镜焦深范围内的那些区域的信号被保留，改善了图像对比度、横向分辨率和系统噪声。光学方案对于3D成像，必须从相机的所有像素获取数据。这意味着：重新构建共聚焦图像。为此，多狭缝图像偏移一个像素，达到必要的次数，以填充相机。多狭缝每偏移一次，拍一张相机图像，对那一刻照亮的像素应用共聚焦算法。SENSOFAR专*技术光学结构中没有运动零件Sensofar系统中实施的共聚焦扫描技术是...

干涉工作原理干涉技术的工作原理是：将光分成光学传播路径不同的两个光束，然后再合并，从而产生干涉。干涉物镜允许显微镜作为干涉仪而工作；焦点对准后，可在样本上观察到条纹。光学方案PSI的光学方案与FV具有相同配置，但是现在采用干涉物镜而不是明场。为了获得形貌，沿着Z方向扫描传感器头。对于PSI，扫描几微米，并检索相位。对于CSI，扫描需要的微米数，以扫描完整表面。PSI:相移干涉对于所有数值孔径(NA)，开发了相移干涉法(PSI)，以亚埃分辨率测量高度光滑和连续表面的高度。可以使...

薄膜透明层沉积在表面上时，其反射率会变化。该系统获取可见范围内样本的反射光谱，并与软件计算的模拟光谱进行比较，对层厚进行修改，直到找到匹配的厚度。对于薄膜，厚度与光波长类似，我们沿着光谱获得波浪状的反射率响应。主要特征从50nm到1.5μm厚的透明薄膜可在不到5秒的时间内测得从50nm到1.5μm厚的透明薄膜不到5秒内采集一个物镜可覆盖整个范围不同光斑大小(3.5μm到40μm)

SensofarCSI（白光干涉）是如何运作的?Sensofar干涉为了测量超光滑的表面及中等粗糙表面的表面高度，通过干涉技术，可在任何放大倍率下实现相同的系统噪声，它可实现优于0.01nm的系统噪声。干涉工作原理干涉技术的工作原理是：将光分成光学传播路径不同的两个光束，然后再合并，从而产生干涉。干涉物镜允许显微镜作为干涉仪而工作；焦点对准后，可在样本上观察到条纹。CSI（白光干涉）使用白光扫描光滑到中等粗糙表面的表面高度，任何放大倍率下均达到1nm的高度分辨率。采用干涉法，...

本案例研究中，Linkam和SensofarMetrology展示了在为温控光学轮廓测量实验生产实验装置方面的合作。由于球面像差引起的成像问题，在过去一直是一个难点工序。使用Linkam的精密冷热台和Sensofar的Linnik物镜解决了这些问题，实现了纳米材料3D形貌轮廓的精确测量。我们观察了硅晶片在20°C到380°C温度范围内的形貌变化。快速热处理（RTP）是硅晶片制造过程中的一个重要步骤，其中晶片在短时间内快速加热到高温，然后以受控方式缓慢冷却，为晶片赋予所需的半导...

我们的研究涉及设计产生干涉颜色的微结构。我们对这种光学机制的第一次报告出现在Goodling,A.E.,等(2019)的论文中。“通过微尺度凹面界面的全内反射和干涉实现的颜色化。”Nature566(7745):523-527。光在微结构内通过全内反射反弹，并且在经历不同反射路径的光线之间发生光学干涉。我们设计微结构化表面来控制光的反射和产生的颜色。我们需要测量表面地形，以便将光学性质与表面几何形状关联起来。微结构的几何形状，如它们的深度、宽度、角度和表面粗糙度都会影响光学性...

该案例研究专注于开发具有高硬度和同时具有较低摩擦系数的纳米复合W-C:H涂层。我们研究了在混合PVD-PECVD工艺中由添加到溅射大气中的烃（主要是乙炔）得到的不同氢化碳基质含量的W-C:H涂层系统。涂层是使用三种不同的PVD技术（直流磁控溅射、HiPIMS、HiTUS）制备的，通过不同的烃气添加来控制氢化碳的含量。由于此处研究的涂层的摩擦行为是由球上的转移层形成来控制的，而我们早期的工作重点是研究硬度和摩擦系数之间的基本关系，因此重点转向了转移层本身的演变的研究。重要的是要...