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PRODUCTS CNTERSensofar S neox高精度工业三维检测新时代Sensofar 的四合一测量技术堪称 S neox 的一大核心亮点。在其传感器头中,巧妙集成了干涉、共聚焦、Ai 多焦面叠加和膜厚测量等多种先进测量技术。只需轻松点击一次,系统便能依据当前测量任务的具体需求,自动智能地切换到最为适配的最佳技术。
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在微纳米尺度上,表面形貌的精确测量已成为制造和科研突破的关键瓶颈。传统测量设备在面对复杂材质、陡峭斜率或跨尺度粗糙度时,往往陷入精度不足、效率低下或模式切换繁琐的困境——直到Sensofar S neox三维共聚焦白光干涉光学轮廓仪的出现,重新定义了表面测量的可能性边界。
一、多技术融合:传统的测量范式
S neox的革命性突破在于创造性地将共聚焦显微镜、白光干涉仪和相位差干涉仪三大精密测量技术集成于单一平台。这种“三合一"设计摆脱了传统设备需手动更换硬件模块的束缚,用户仅需轻点软件界面,即可在毫秒间实现测量模式的智能切换。这一创新不仅大幅提升工作效率,更使用户以单台设备的投入,同时获得三类顶级仪器的测量能力,显著降低综合成本。137
更值得关注的是其Ai多焦面叠加技术,作为第四种核心测量模式,专为攻克大粗糙度表面而研发。通过主动照明与智能算法协同,它能在毫米/秒级速度下完成高斜率表面(最高支持86°倾角)的精准捕获,解决了传统共聚焦在低倍率下测量粗糙表面的技术盲区,特别适用于模具、铸造件等工业场景。148
二、性能:纳米世界的超清视野
横向分辨率达0.10μm:在150倍高数值孔径镜头(NA 0.95)支持下,共聚焦模式展现出超越光学显微镜的横向分辨能力,可清晰解析微电子器件的临界尺寸,即使面对70°光滑斜面或86°粗糙陡坡,仍能保持纳米级的Z轴重复性精度。156
亚纳米级纵向分辨率:相位差干涉模式专为超光滑表面设计,即使使用2.5倍镜头进行大视场测量,仍能稳定输出亚纳米级分辨率数据,为光学元件、晶圆表面提供测量保障。17
白光干涉全场纳米精度:无论放大倍数如何变化,白光干涉模式始终保持纳米级纵向分辨率,成为各类材料表面形貌分析的通用利器。26
三、速度革命:180 fps重新定义检测效率
S neox搭载新一代智能算法与高性能相机,将数据采集速度推至惊人的180帧/秒,比前代设备快5倍以上,堪称快的区域测量系统之一。这种速度优势在批量检测场景中尤为突出——例如在汽车制造业中,单个模具的完整三维形貌可在数分钟内完成采集分析,真正实现工业级高通量检测。48
四、全场景覆盖:从实验室到生产线的力
材质普适性:金属、陶瓷、聚合物、生物组织...无论样品光学特性如何变化,S neox几乎覆盖所有类型表面的形貌测量需求16
跨尺度测量:从亚纳米级薄膜厚度到毫米级粗糙度,从微米级芯片结构到12英寸晶圆,系统通过模块化平台设计(支持4-12英寸样品台)满足多样化尺寸需求357
真彩色还原技术:采用三色LED交替照明与像素级融合算法,生成高保真彩色共聚焦图像,相比传统像素插值技术,显著提升色彩还原真实性,为生物材料、涂层分析提供关键信息16
五、智能操作与精准追溯:体验与可靠性的双重保障
SensoSCAN软件系统以直观的交互界面降低操作门槛,即使新手用户也能快速完成专业级测量。针对工业质量控制场景,SensoPRO模块提供完整的自动化解决方案:从条形码识别、权限管理到程序存储和报告生成,支持7×24小时连续运行。48
为确保测量数据的全球可追溯性,每台设备出厂前均采用ISO 25178标准认证的参比样块进行校准,并随附完整计量报告。LED光源寿命长达50,000小时,较激光光源提升25倍,且避免激光散斑现象,保证设备在全生命周期内的测量稳定性。48
一台测量头,四维技术融合。S neox如同一位掌握多国语言的表面形貌翻译官,将共聚焦的锐度、干涉测量的精度、多焦面叠加的广度与真彩色的真实度融于一体,在纳米与毫米的尺度间架起无失真的沟通桥梁。
作为西班牙Sensofar公司二十年技术积淀的之作,S neox已在全球数百个实验室和生产线中发挥核心作用。无论您是研发原子层沉积的科学家,还是管控模具精度的工程师,或是分析生物材料表面的研究者,它都以亚纳米级的精准、毫米级的视野和革命性的效率,成为您探索微观世界的伙伴。