Sensofar S lynx 2光学轮廓仪、三维测量、技术革新精密测量新时代

在微纳制造与精密工程领域，表面形貌的精确表征已成为质量控制的核心环节。西班牙Sensofar推出的S lynx 2光学轮廓仪代表了当前非接触式3D表面测量技术的。该设备通过创新的光学架构和智能算法，实现了从纳米级到毫米级样品的高精度、高效率测量，为半导体、光学、医疗植入物等制造领域提供了革命性的检测解决方案。

核心技术突破

1. 多模式光学测量系统

S lynx 2集成了三种*测量技术：

共聚焦显微技术：采用型针孔阵列设计，横向分辨率达0.3μm，特别适用于高反射金属表面测量

干涉显微技术：配备多波长相位解算算法，纵向分辨率突破0.05nm

聚焦变化技术：创新性地结合景深扩展与三维重建，可测量80°倾斜角结构

智能传感系统能根据表面特性自动切换测量模式，在单次扫描中完成复杂形貌的完整表征。

2. 革命性光学设计

双Z轴扫描系统：结合粗调与精调模块，扫描范围达15mm（可选配扩展至25mm）

智能物镜塔台：支持8组物镜自动切换，放大倍数从1.4X到100X连续可调

动态对焦补偿：采用实时闭环控制，振动环境下仍保持亚纳米级稳定性

行业应用实践

1. 半导体制造

在3D NAND存储芯片生产中：

可测量128层堆叠结构的台阶高度（精度±0.3nm）

自动识别TSV通孔的填充缺陷

晶圆翘曲测量速度达传统AFM的20倍

2. 精密光学

某激光陀螺仪制造商应用案例：

同时检测镜面粗糙度（Sa<0.2nm）和面形误差（PV<λ/30）

镀膜厚度分布测量重复性达99.7%

自动生成符合ISO 10110标准的检测报告

3. 生物医疗

在人工关节表面处理优化中：

量化微孔结构的三维形貌参数

建立表面粗糙度与细胞粘附率的关联模型

实现植入物表面100%在线检测

智能测量系统

1. SensoMAP XT软件平台

AI辅助分析：深度学习算法自动分类表面缺陷

实时三维渲染：支持8K分辨率动态显示

多模态数据融合：可关联SEM、AFM等设备数据

云端数据库：支持10万+测量数据的智能管理

2. 自动化集成方案

机器人自动上下料接口

与MES系统无缝对接

支持定制化测量流程开发

性能参数对比

关键指标S lynx 2上代产品主要竞品

纵向分辨率0.05nm0.1nm0.15nm

最大视场12mm8mm10mm

测量速度20mm²/s10mm²/s15mm²/s

倾斜角测量80°70°60°

用户价值分析

效率提升：批量测量时间缩短60%

成本优化：集成多种测量功能，设备投资回报周期<12个月

质量管控：实现关键尺寸100%全检

研发加速：获得更全面的表面特征数据

技术创新路线

Sensofar研发中心正在测试：

超快光学相干层析技术（OCT）

量子点标记增强检测

基于数字孪生的预测性维护系统

典型客户案例

某国际汽车零部件供应商采用S lynx 2后：

活塞环表面检测效率提升300%

成功识别出导致机油消耗异常的微米级纹理缺陷

年质量损失减少250万美元

总结

Sensofar S lynx 2通过突破性的光学设计和智能算法，重新定义了工业级表面测量的精度与效率标准。其模块化设计既满足实验室的科研需求，又能适应严苛的生产环境，正在成为制造领域质量控制工具。随着5G、人工智能等新技术的发展，这种智能测量平台将继续推动精密制造向更高水平迈进。

Sensofar S lynx 2光学轮廓仪、三维测量、技术革新精密测量新时代