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产品中心台式电镜&台阶仪&原位分析泽攸台式扫描电镜纳米尺度分析：ZEM系列台式电镜介绍
产品简介
纳米尺度分析：ZEM系列台式电镜介绍泽攸电镜的JS系列台阶仪是进行纳米尺度表面轮廓和膜厚测量的工具。它与扫描电镜技术相结合，可提供多维度的样品信息。
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产品细节与性能：
JS系列采用压电陶瓷驱动和柔性铰链结构，实现了探针的平稳扫描。测量力可调，以适应不同硬度样品的测量需求，避免对样品造成损伤。
核心参数（JS 400例）：
扫描范围：100μm × 100μm × 25μm (XYZ)
垂直分辨率：0.1nm
扫描速度：0.01 - 1mm/s
样品尺寸：直径≤ 6英寸
用途：
主要用于半导体制造中的膜厚测量、MEMS器件表面形貌表征、材料表面的粗糙度分析等。
使用简述：
选择并安装合适的探针，将样品固定在样品台上。通过软件设定扫描路径和参数，系统即可自动完成测量并生成三维轮廓图。纳米尺度分析：ZEM系列台式电镜介