原位实验方案：ZEM系列台式电镜介绍

泽攸电镜的JS系列台阶仪是进行纳米尺度表面轮廓和膜厚测量的工具。它与扫描电镜技术相结合，可提供多维度的样品信息。原位实验方案：ZEM系列台式电镜介绍

产品细节与性能：
JS系列采用压电陶瓷驱动和柔性铰链结构，实现了探针的平稳扫描。测量力可调，以适应不同硬度样品的测量需求，避免对样品造成损伤。

核心参数（JS 400例）：

• 扫描范围：100μm × 100μm × 25μm (XYZ)

• 垂直分辨率：0.1nm

• 扫描速度：0.01 - 1mm/s

• 样品尺寸：直径≤ 6英寸

用途：
主要用于半导体制造中的膜厚测量、MEMS器件表面形貌表征、材料表面的粗糙度分析等。

泽攸电镜提供多种可与扫描电镜集成的原位样品台，使研究人员能够在微观尺度观察样品在热、力、电等外界条件下的动态变化过程。

产品细节与用材：
原位样品台如加热台、拉伸台，采用耐高温材料如陶瓷和特种合金，确保在实验过程中的稳定性和可靠性。设计考虑了与电镜腔体的兼容性。

核心参数（加热台HTS 1000例）：

• 温度范围：室温 - 1000°C

• 升温速率：0.1 - 50 °C/min

• 样品尺寸：长15mm × 宽10mm × 厚2mm

• 加热带材料：耐高温金属

用途：
用于观察材料在加热过程中的相变、纳米材料在应力下的变形断裂、以及电池材料的充放电循环研究等。

使用简述：
将专用样品台装入电镜，连接外部控制单元。通过独立的软件程序控制环境条件，并在电镜中实时观察和记录样品的微观演变。原位实验方案：ZEM系列台式电镜介绍