样品处理与制备：ZEM系列台式电镜

泽攸电镜的JS系列台阶仪是进行纳米尺度表面轮廓和膜厚测量的工具。它与扫描电镜技术相结合，可提供多维度的样品信息。样品处理与制备：ZEM系列台式电镜

产品细节与性能：
JS系列采用压电陶瓷驱动和柔性铰链结构，实现了探针的平稳扫描。测量力可调，以适应不同硬度样品的测量需求，避免对样品造成损伤。

核心参数（JS 400例）：

• 扫描范围：100μm × 100μm × 25μm (XYZ)

• 垂直分辨率：0.1nm

• 扫描速度：0.01 - 1mm/s

• 样品尺寸：直径≤ 6英寸

用途：
主要用于半导体制造中的膜厚测量、MEMS器件表面形貌表征、材料表面的粗糙度分析等。

泽攸电镜提供多种可与扫描电镜集成的原位样品台，使研究人员能够在微观尺度观察样品在热、力、电等外界条件下的动态变化过程。

获得清晰电镜图像的前提是良好的样品制备。泽攸电镜提供多种样品制备设备，如离子溅射仪和临界点干燥仪，覆盖常见的制样需求。

产品细节与用材：
离子溅射仪采用高纯度金属靶材（如金、铂、碳），真空室由不锈钢制成，配备数字式真空计和电流稳定装置，以控制镀膜厚度。

核心参数（溅射仪Sputter 10例）：

• 真空度：≤ 8 Pa

• 溅射电流：0 - 50 mA

• 靶材选择：多种可选

• 定时范围：0 - 999秒

用途：
为不导电的样品（如生物组织、高分子材料）镀上一层导电膜，防止电荷积累，改善图像质量。

使用简述：
将清洁干燥的样品放入溅射仪样品台，抽真空至设定值。设置溅射电流和时间，启动程序。完成后取出样品即可上机观察。样品处理与制备：ZEM系列台式电镜