泽攸 电镜在设计上注重提升工作效率,同时保持对细节的捕捉能力。电子枪采用 LaB6 灯丝,相较于传统钨灯丝,亮度提高约 5 倍,使用寿命延长至 2000 小时以上,减少了灯丝更换频率,降低了维护成本。镜筒内部关键部件采用钼合金材料,耐高温且稳定性好,适合长时间连续工作。泽攸电镜兼顾效率与细节的电镜
加速电压范围扩展至 2kV-40kV,束流稳定度优于 1.5%/h,确保在长时间测量过程中图像质量的一致性。二次电子像分辨率在 30kV 时达到 3nm,背散射电子像分辨率 5nm,能清晰呈现纳米级别的微观结构。放大倍数覆盖 100 倍 - 2000000 倍,满足从宏观到微观的多尺度观察需求。
样品室采用大尺寸设计,直径 200mm,高度 180mm,可容纳更大尺寸的样品或特殊样品台。配备全自动样品台,移动范围 X/Y 100mm×100mm,定位精度 1μm,支持预设路径自动测量,适合批量样品的快速检测。真空系统由机械泵与涡轮分子泵组成,抽气时间短,从大气到工作真空(≤5×10⁻⁴Pa)仅需 6 分钟。
操作界面采用触控屏设计,配合鼠标键盘操作,软件内置多种测量模板,如颗粒分析、线宽测量等,可自动识别并计算相关参数。使用时,通过样品加载室快速更换样品,无需破坏镜筒真空,大幅缩短了样品更换时间。
在半导体行业,可用于芯片表面的缺陷检测,快速定位划痕、污染等问题;在材料科学领域,能观察复合材料的界面结构,分析相分布情况;在地质研究中,可识别矿物颗粒的微观形态,辅助矿物鉴定。其高效的工作能力与精准的成像效果,为各领域的研究与生产提供了有力支持。泽攸电镜兼顾效率与细节的电镜