泽攸 电镜集成了扫描电镜与能谱分析功能,形成一套完整的微观分析系统,能同时提供样品的形貌信息与成分信息。电子光学系统采用双聚光镜设计,可灵活调节电子束斑大小,满足不同分辨率与束流的需求。镜筒外壁包裹多层隔热材料,减少环境温度变化对电子光学系统的影响。泽攸电镜集成化分析的电镜系统
加速电压 5kV-30kV,二次电子像分辨率 3nm(30kV),背散射电子像分辨率 4nm(30kV)。配备的能量色散 X 射线谱仪(EDS),探测器面积 10mm²,能量分辨率 129eV,可检测元素范围从 B 到 U,元素定量分析误差小于 5%。
样品台为五轴联动设计,移动范围 X/Y 50mm×50mm,Z 轴 20mm,倾斜角度 - 10° 至 60°,旋转 360°,支持样品的多角度成分分析。设备采用模块化设计,EDS 探测器可根据需求拆卸,便于后期升级或维护。机身采用铝合金框架与铸铁底座组合结构,既保证了整体刚性,又减轻了设备重量。
操作软件支持形貌成像与成分分析的联动控制,可在观察形貌的同时进行点分析、线扫描或面扫描,实时获取元素分布图谱。软件内置标样数据库,包含多种标准样品的成分数据,可自动校准分析结果,提高定量分析的准确性。
使用时,需先对 EDS 系统进行能量校准与效率校准,确保成分分析的可靠性。在金属材料分析中,EM3000 可用于识别夹杂物的成分,判断其来源;在陶瓷材料研究中,能分析晶粒与晶界的成分差异,探究烧结机理;在考古领域,可通过分析文物表面涂层的成分,推断其制作工艺。这套集成化系统为用户提供了从形貌观察到成分分析的一站式解决方案,减少了样品转移过程中的误差,提高了分析效率。泽攸电镜集成化分析的电镜系统