泽攸台阶仪：科研到产线全链路形貌测量专家

泽攸台阶仪：科研到产线全链路形貌测量专家

在微纳制造领域，表面形貌的量化分析是工艺优化与质量控制的关键环节。泽攸科技JS系列台阶仪通过自主创新的传感器技术与智能化软件系统，为半导体、新能源、生物医疗等行业提供高适应性的形貌测量解决方案，覆盖从基础研究到规模化生产的全链路需求。

技术架构：双传感器与动态力控的协同创新

泽攸台阶仪的核心竞争力源于其自主研发的直立式双LVDT传感器系统：

• 压力-位移双闭环控制：传感器1实时监测探针与样品接触力（范围0.5-50mg），通过PID算法动态调整压电陶瓷位移，确保恒力扫描；传感器2独立反馈台阶高度信号，避免传统杠杆式结构的圆弧误差。在某光伏企业的CIGS薄膜检测中，该技术将厚度测量标准差从1.2nm降至0.3nm。

• 亚微米级力控精度：通过压电驱动与LVDT传感单元的集成设计，实现标准行程内0.05nm的位移分辨率。在MEMS器件的应力测量中，JS系列可捕捉曲率半径≤1μm的微观形变，为器件可靠性设计提供数据支持。

型号矩阵：从手动到全自动的场景覆盖

JS系列提供四款主力型号，适配不同用户需求：

• JS100B/JS200B/JS300B：半自动设计，支持手动样品台与电动旋转台（分辨率0.1°），适用于实验室研发与小批量检测。其XY样品台行程分别为150mm/200mm/300mm，可覆盖6-12英寸晶圆的全域测量。

• JS2000B：全自动型号，集成EFEM晶圆传输系统与正侧视双相机，支持无人化2D/3D扫描。在某LED企业的外延层检测中，该型号将单片晶圆测量时间从45分钟缩短至12分钟，同时将粗糙度Ra值的重复性偏差控制在0.2nm以内。

材料与工艺：耐用性设计的细节考量

• 探针系统：采用金刚石复合探针，曲率半径经离子束抛光至<100nm，兼顾硬度与耐磨性。针对软质材料（如有机薄膜），提供硅探针选项，通过降低弹性模量减少接触损伤。

• 扫描平台：主体结构采用花岗岩基座与铝合金导轨的复合设计，在保证减震性能的同时控制热膨胀系数（<10⁻⁶/℃）。导轨表面镀硬铬并经超精密研磨，直线度误差≤1μm/100mm，确保长距离扫描的平面度。

• 环境适应性：工作温度范围15-35℃，湿度≤70%RH无冷凝。JS2000B型号配备温湿度补偿模块，可自动修正环境波动对测量结果的影响。

软件功能：从数据采集到智能分析

泽攸台阶仪的软件系统集成三大核心模块：

1. 基础测量：支持台阶高度、粗糙度（Ra/Rq/Rz）、薄膜厚度等参数的一键计算，兼容ISO 4287/4288、ASME B46.1等国际标准。

2. 高级分析：提供3D形貌重建、波纹度分离、频谱分析等功能，助力用户深入探究表面形貌的成因。例如，在某硬盘磁头企业的检测中，通过频谱分析定位到10-50μm周期性的表面波纹，指导抛光工艺优化。

3. 自动化流程：支持脚本编程与批量处理，可与MES/ERP系统对接，实现产线数据的实时上传与追溯。某汽车零部件供应商通过集成JS系列设备，将质检环节的数据采集效率提升300%。

典型应用案例

1. 半导体制造：晶圆表面缺陷检测
   某12英寸晶圆厂使用JS300B检测化学机械抛光（CMP）后的表面平整度，通过3D扫描功能识别出0.5μm深度的局部凹陷，指导抛光液配方调整，将良率从88%提升至95%。

2. 新能源材料：钙钛矿薄膜厚度控制
   在锡基钙钛矿太阳能电池研发中，JS200B的亚微米探针可精确测量35-40nm超薄层的厚度均匀性，结合SPC分析功能，帮助团队将器件迁移率从58 cm²·V⁻¹·s⁻¹优化至65 cm²·V⁻¹·s⁻¹。

3. 生物医疗：人工关节表面纹理分析
   某骨科植入物企业利用JS系列量化喷砂处理后的表面粗糙度参数（Rz值），通过反馈数据优化粒径控制精度至±3μm，显著提升材料与人体组织的生物相容性。

操作指南：从开机到报告生成

1. 设备初始化：开机后自动执行自检程序，检查探针压力、扫描台平整度等关键参数。用户可通过软件界面查看设备状态，确认无误后进入测量流程。

2. 样品定位：JS2000B支持自动晶圆传输与视觉定位，半自动型号需手动放置样品并调整XY台至测试点上方。建议使用真空吸附台固定柔性材料，防止扫描过程中形变。

3. 参数设置：根据材料硬度选择探针压力（硬质材料建议20-50mg，软质材料≤10mg），扫描速度设置为10-30μm/s以平衡效率与精度。JS2000B提供“快速扫描"“精细扫描"两种预设模式，用户可根据需求一键切换。

4. 数据分析与导出：测量完成后，软件自动生成包含台阶高度、粗糙度、3D形貌等参数的报告。用户可将数据导出为ASC/CSV格式，或直接打印PDF报告，支持自定义模板与LOGO嵌入。

泽攸台阶仪以模块化设计与智能化软件，为微纳制造领域提供从研发到量产的全链路形貌测量解决方案。其开放的技术架构更支持与拉曼光谱、AFM等设备联用，助力用户探索微观世界的新可能。

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