在电子元件制造、汽车零部件生产、五金加工等工业领域,批量样品的快速检测与质量把控是提升生产效率的关键,ZEM18 台式扫描电子显微镜凭借优化的检测流程、耐用的工业级设计与便捷的数据管理功能,成为工业车间批量检测的实用工具,助力企业实现高效质量管控。
一、产品细节:工业级设计适配车间环境
ZEM18 在结构设计上充分考虑工业车间的使用场景,机身外壳采用加厚冷轧钢板材质,表面经过静电喷涂处理,具备出色的抗冲击性与防油污能力,即使在车间粉尘较多、机械震动频繁的环境中,也能保持设备稳定运行,减少外部环境对检测精度的影响。机身底部配备重型减震脚垫,通过橡胶材质的弹性缓冲,可吸收车间地面传来的震动,避免震动导致电子束偏移,保障成像稳定性。
样品室门采用气动助力结构,开启与关闭过程平稳,且具备防夹手设计,适合车间操作人员频繁取放样品的需求。样品室内部配备可快速更换的样品托盘,托盘采用标准化尺寸设计,一次可放置 5~8 个小型样品(如电子元件、螺丝、垫片),操作人员无需逐个固定样品,只需更换托盘即可完成批量样品的装载,大幅缩短样品更换时间。样品室侧壁设有防尘密封圈,能有效防止车间粉尘进入,减少设备内部清洁频率,降低维护成本。
操作面板采用防水防油设计,表面覆盖钢化玻璃保护膜,即使车间环境中存在油污或水渍,也能通过抹布直接擦拭清洁,避免液体渗入设备内部导致故障。设备还配备工业级散热系统,通过多风扇与散热鳍片的组合,可快速排出电子元件工作产生的热量,即使在车间高温环境下长时间运行(如连续检测 8 小时以上),也能保持设备温度稳定,避免因过热导致性能下降。
二、产品性能:快速检测满足批量需求
ZEM18 的 LaB₆灯丝电子枪不仅成像精度优于钨灯丝,还具备快速启动功能,从设备开机到达到可检测状态的时间缩短至 15 分钟以内,比传统设备节省约一半时间,适合车间批量检测的高效需求。加速电压 0.5kV~18kV 的调节范围,可适配不同材质工业样品的检测:例如检测金属零部件表面缺陷时,选用 12kV~18kV 高电压,能清晰呈现划痕、凹陷等细节;检测塑料电子外壳时,选用 0.5kV~8kV 低电压,可避免样品充电,快速获取表面纹理图像。
分辨率方面,2.0nm(30kV)与 6.0nm(1kV)的性能表现,能满足工业检测对微观缺陷的识别需求。在电子元件检测中,可清晰观察芯片引脚的焊接点是否存在虚焊、漏焊,以及引脚表面是否有氧化层;在汽车零部件检测中,能识别轴承滚珠表面的微小磨损痕迹,判断零部件是否符合使用标准。扫描速度新增 “快速筛查" 模式,扫描帧率提升至 30 帧 / 秒,可快速预览批量样品的整体形貌,初步筛选出可能存在缺陷的样品,再对可疑样品进行慢扫高精度检测,大幅提升批量检测效率。
设备还具备自动聚焦与自动曝光功能,操作人员无需手动调整焦距与亮度,只需点击操作界面的 “自动优化" 按钮,设备便会自动识别样品区域,调整至最佳成像状态,减少人为操作误差,确保不同操作人员检测同一批次样品时,成像效果保持一致,提升检测结果的可靠性。
三、用材与参数:工业级配置保障稳定运行
ZEM18 的核心部件选用工业级耐用材料,电子透镜采用高导磁率合金材质,经过精密加工与稳定性测试,在长期高负荷运行下,仍能保持电子束聚焦精度,减少因部件老化导致的检测误差。样品台导轨采用直线轴承结构,搭配耐磨合金材质,使用寿命可达 10 万次以上,能承受车间批量检测中频繁的样品台移动操作,避免导轨磨损影响定位精度。
真空系统标配机械泵与分子泵组合,抽真空时间缩短至 5~8 分钟,样品室真空度可稳定保持在 10⁻⁴Pa 以下,即使在车间频繁开关样品室门的情况下,也能快速恢复真空状态,减少等待时间。设备电源模块采用工业级宽幅设计,能适应 160V~260V 的电压波动,避免车间用电高峰时电压不稳定导致设备停机,保障批量检测连续进行。
以下为 ZEM18 适配工业批量检测的核心参数表:
四、用途与使用说明:贴合工业检测流程
ZEM18 在工业领域的用途广泛,在电子元件制造中,可用于芯片、电阻、电容等元件的外观缺陷检测,如芯片表面的划痕、电阻引脚的变形、电容外壳的破损等,确保出厂产品符合质量标准;在汽车零部件生产中,能检测发动机活塞、变速箱齿轮等部件的表面粗糙度与微观缺陷,判断零部件是否达到装配要求;在五金加工行业,可检测螺丝、螺母等标准件的螺纹精度与表面处理质量,避免不合格产品流入市场。
针对工业批量检测的使用说明如下:首先,提前通过设备操作软件预设检测参数,如加速电压、放大倍率、扫描模式等,针对同一批次样品,只需调用预设参数即可快速启动检测,无需重复设置;然后将批量样品固定在标准化样品托盘上,打开样品室门,放入托盘并固定,关闭样品室门,设备自动启动真空系统,待真空度达标后,点击 “批量检测" 按钮;设备会自动移动样品台,依次对托盘上的每个样品进行扫描成像,同时自动识别样品是否存在缺陷(如划痕、变形),并将检测结果(合格 / 不合格)与图像一同保存;检测完成后,设备自动放气,操作人员取出样品托盘,更换新的样品托盘,开始下一批次检测。
若选配 EDS 进行元素分析,可在检测过程中对可疑样品的缺陷区域进行元素检测,例如判断金属部件表面的斑点是否为杂质元素,分析缺陷产生的原因,为生产工艺优化提供数据支持。使用过程中需注意,定期清理样品室内部的粉尘,每季度更换一次机械泵油,每年对真空系统进行一次检漏,确保设备长期稳定运行;车间操作人员需经过简单培训,掌握参数调用、样品更换与数据查看的基本操作,即可独立完成检测任务。
五、型号特点:工业检测的高效之选
作为 ZEM 系列的中端型号,ZEM18 在工业批量检测场景中展现出明显优势:其快速检测流程与批量样品适配设计,能大幅提升车间检测效率,减少人工成本;工业级耐用材质与稳定性能,可适应车间复杂环境,降低设备故障率;便捷的数据管理功能,支持检测数据与图像的本地存储与网络上传,便于企业建立质量追溯体系,实现生产过程的全程质量管控。
无论是电子、汽车还是五金行业,ZEM18 都能以高效、稳定的检测能力,成为工业生产中的质量 “把关人",帮助企业提升产品质量,降低不合格品率,增强市场竞争力。