ZEM18扫描电镜：科研与工业“微观观测站”

在材料科学、新能源开发及工业检测领域，微观结构的精准分析是推动技术突破的关键。泽攸科技ZEM18台式扫描电子显微镜（SEM）凭借其紧凑设计、多功能集成与高效性能，成为实验室与生产线上的“微观观测站"。

一、核心性能：从形貌到成分的全面解析

ZEM18的加速电压范围为3kV至18kV，支持1kV步进调节，可灵活适配不同样品的观测需求。低电压（3-5kV）模式下，可减少非导电样品（如塑料、陶瓷）的电荷积累，避免图像失真；高电压（15-18kV）则能穿透样品表面氧化层，清晰呈现金属内部缺陷。其分辨率在30kV加速电压下可达2.0nm，1kV低电压下为6.0nm，足以分辨半导体芯片金线键合处的微小划痕或地质矿物颗粒的晶体边界。

设备标配二次电子探测器（SE）与四分割背散射电子探测器（BSE），可同时采集样品表面形貌与成分对比信息。例如，在金属材料检测中，SE图像可清晰显示裂纹扩展路径，而BSE图像则能通过原子序数差异区分不同相结构。选配的能量色散X射线谱仪（EDS）可进一步实现元素分布分析，为材料质量控制提供数据支持。

二、创新设计：兼顾效率与拓展性

1. 真空系统：采用真空分隔技术，电子枪与样品仓独立抽真空，换样时间缩短至90秒内，大幅提升实验效率。高真空模式适合大多数样品，低真空模式（1-100Pa自动调节）则支持含水分或非导电样品的直接观测，无需喷金预处理。

2. 样品舱与样品台：样品舱采用304不锈钢材质，厚度达2mm，可容纳直径70mm、高度50mm的样品，适配晶圆、地质岩芯等大型块状样品。电动样品台支持XY轴±30mm、Z轴60mm行程，移动精度达±0.005mm，确保样品定位准确。

3. 操作界面：7英寸电容触控屏支持多点触控，可通过手势缩放图像、调整参数，屏幕亮度自动调节功能适应不同光照环境。设备接口丰富，除USB3.0与HDMI外，新增以太网接口，支持多台设备集中管理与数据共享。

三、用材与参数：细节彰显品质

• 电子光学系统：采用预对中钨灯丝与一体式聚光镜，无需手动调节物镜光阑，降低操作门槛。电子透镜使用高纯度电工纯铁，经多道精密磨削与真空退火处理，导磁性能优异，减少电子束发散。

• 样品台导轨：采用轴承钢材质，表面镀铬处理，硬度达HRC60以上，耐磨性强，长期使用后仍能保持高精度。

• 关键参数：

• 参数类别	具体参数
  加速电压	3kV-18kV（1kV步进）
  分辨率	2.0nm（30kV, SE）；6.0nm（1kV, SE）
  放大倍率	10x-200,000x
  样品台行程	XY轴±30mm，Z轴60mm（电动）
  真空模式	高真空（<90秒）；低真空（1-100Pa）
  探测器类型	SE、BSE（可选EDS）

  
  

四、应用场景：从实验室到生产线的全覆盖

ZEM18适用于金属材料裂纹分析、半导体器件失效检测、锂电池电极微观结构表征等领域。例如，在锂电行业中，其低真空模式可直接观察未喷金的电极材料，结合EDS能谱分析，可快速定位锂枝晶生长位置与成分变化；在半导体领域，电动样品台支持晶圆边缘缺陷的多角度观测，助力工艺优化。

五、操作指南：三步开启微观探索

1. 样品准备：非导电样品需喷金（厚度5-10nm），导电胶固定样品后放入样品舱。

2. 参数设置：通过触控屏选择高/低真空模式，调节加速电压（如15kV）与光斑直径（粗/中/细），启用自适应亮度对比度。

3. 图像采集：低倍下定位目标区域，切换至高倍模式后微调聚焦与消像散，选择合适帧数（如5帧平均）保存图像。

ZEM18以“小体积、大功能"重新定义台式扫描电镜，为科研与工业用户提供高效、灵活的微观分析解决方案。