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台式电镜&台阶仪&原位分析
泽攸台式扫描电镜
ZEM15泽攸电镜:桌面上的微观探索
ZEM15泽攸电镜:桌面上的微观探索在材料科学、生物研究、电子制造及教育等领域,对样品进行微纳米尺度的观察是一项基本需求。传统的大型扫描电子显微镜(SEM)往往对场地、环境和技术操作有相应要求。泽攸科技的ZEM15台式扫描电子显微镜,则提供了一种进入微观世界的方式。它集成了电子光学系统、真空系统和控制系统于一个紧凑的桌面尺寸机身内,降低了用户的使用门槛。
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ZEM15泽攸电镜:桌面上的微观探索
在材料科学、生物研究、电子制造及教育等领域,对样品进行微纳米尺度的观察是一项基本需求。传统的大型扫描电子显微镜(SEM)往往对场地、环境和技术操作有相应要求。泽攸科技的ZEM15台式扫描电子显微镜,则提供了一种进入微观世界的方式。它集成了电子光学系统、真空系统和控制系统于一个紧凑的桌面尺寸机身内,降低了用户的使用门槛。
从产品设计上看,ZEM15结构紧凑,外观简洁。其镜体部分采用了金属材料,保证了设备的稳定性和屏蔽性。内部核心部件包括场发射电子枪、电磁透镜、扫描线圈以及半导体探测器等。其样品室设计注重便捷性,样品台可移动范围能满足大部分常规样品的观察需求,加载样品的过程相对简化,无需复杂的抽真空等待过程。
该仪器的性能特点在于其采用冷场发射电子源,这项技术帮助系统在获得图像分辨率方面有所表现。相较于某些台式电镜的钨灯丝或热场发射技术,冷场发射源具有光源亮度较好和能量 spread 较窄的特点,这有助于获得更清晰的图像。ZEM15通常配备背散射电子(BSE)和二次电子(SE)探测器,可以同时获取样品成分衬度和表面形貌衬度信息。
基本参数概览:
型号: ZEM15
电子枪类型: 冷场发射电子枪
分辨率: 可提供优于一定数值的高真空模式分辨率(请以最新参数为准)
加速电压: 多档可调(如1kV - 15kV或更宽范围)
放大倍数: 宽范围连续可调(从低倍到高倍,如10x - 200,000x或更高)
样品室尺寸: 可容纳适度尺寸的样品
样品台: 五轴优中心马达控制(X, Y, Z, 倾斜, 旋转)
真空系统: 集成分子泵,真空度可达高真空范围
其用途广泛,适用于金属材料断口分析、陶瓷烧结体观察、矿物成分研究、纳米材料形貌表征、半导体芯片缺陷检测、生物样品脱水处理后的观察以及高等院校的教学演示等。
使用前,需将仪器安置在稳固、无强磁场干扰的实验台上。开机后,系统会自动完成抽真空等准备工作。样品制备是关键步骤,对于非导电样品,通常需要进行喷金或喷碳处理以消除荷电效应。将处理好的样品放入样品室,在软件上选择加速电压、探针电流和扫描速度等参数,即可开始寻找视野并聚焦成像。