ZEM15泽攸电镜：高效成像的桌面分析工具

泽攸科技ZEM15台式扫描电镜的价值，不仅在于其紧凑的体型，更在于其集成的技术为日常的微区分析提供的支持。它试图在桌面设备的便捷性与传统电镜的部分性能之间找到平衡，满足工业质检和学术研究中对效率的部分要求。

ZEM15的技术内涵体现在其光学系统和探测系统上。冷场发射电子枪提供了较小的电子源尺寸和较高的亮度，这是获得较高分辨率图像的基础。电磁透镜组负责将电子束聚焦并扫描在样品表面。其内置的半导体背散射电子探测器对原子序数差异敏感，可用于快速区分样品中不同成分的区域；二次电子探测器则对样品表面形貌起伏敏感，能呈现丰富的三维立体细节。两种信号的可同时采集与显示，为用户分析样品提供了多维信息。

在操作性能上，ZEM15的自动化程度是一个特点。系统通常具备自动真空控制、自动灯丝加热、甚至部分型号支持自动样品台驱动和图像拼接功能。这些设计减少了人工操作步骤，降低了操作复杂性，使新手经过基本培训后也能独立完成常规观察。软件的图形化界面将参数调节、图像采集、测量分析功能集成在一起，流程清晰直观。

在样品适应性方面，其五轴马达样品台允许用户在不破坏真空的情况下，对样品进行多角度的移动、倾斜和旋转，便于从优良角度观察感兴趣的区域。针对常见的荷电问题，用户可通过选择较低的加速电压、采用低真空模式（若配备）或对非导电样品进行适当预处理来应对。

操作流程简述：

1. 样品制备： 确保样品尺寸合规，非导电样品需进行导电处理（如喷金）。

2. 样品加载： 打开样品室，使用专用工具将样品座稳妥放置于样品台上，关闭样品室。

3. 开始抽真空： 在软件上点击“开始抽真空"，系统自动完成抽真空过程。

4. 条件设置： 真空就绪后，选择加速电压（常用5-15kV）、探针电流和工作距离。

5. 寻找与聚焦： 使用低倍数寻找感兴趣区域，逐步放大，并调节焦距和像散，获得清晰图像。

6. 图像采集： 调整对比度和亮度，选择合适的扫描速度和图像积分次数，采集并保存图片。

7. 分析测量： 利用软件工具进行颗粒度分析、孔径测量或能谱成分分析（若配备EDS）。